2-(4-Chloro-3-fluorophenoxy)-2,2-difluoroaceticacid | 1556480-18-2

• 分子结构分类: 有机化合物 - 苯类化合物 - 苯和取代衍生物
• 英文名称: 2-(4-Chloro-3-fluorophenoxy)-2,2-difluoroaceticacid
• 英文别名: 2-(4-chloro-3-fluorophenoxy)-2,2-difluoroacetic acid
• CAS: 1556480-18-2
• 化学式: C₈H₄ClF₃O₃
• 分子量: 240.56
• InChiKey: JTDMNCAXPBHGAA-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  3
• 重原子数：
  15
• 可旋转键数：
  3
• 环数：
  1.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.12
• 拓扑面积：
  46.5
• 氢给体数：
  1
• 氢受体数：
  6

文献信息

• ONIUM SALT COMPOUND, CHEMICALLY AMPLIFIED RESIST COMPOSITION AND PATTERNING PROCESS
  申请人：Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.

  公开号：US20210179554A1

  公开（公告）日：2021-06-17

  An onium salt having formula (1) serving as an acid diffusion inhibitor and a chemically amplified resist composition comprising the acid diffusion inhibitor are provided. When processed by lithography, the resist composition exhibits a high sensitivity, and excellent lithography performance factors such as CDU and LWR.

  提供一种具有化学式（1）的醇铵盐，用作酸扩散抑制剂，以及包括该酸扩散抑制剂的化学增强型抗蚀剂组合物。当通过光刻加工时，该抗蚀剂组合物表现出高灵敏度和优异的光刻性能因素，例如CDU和LWR。