名称:
Image quality improvement using helium gas in low voltage variable pressure scanning electron microscopy
摘要:
本文讨论了低压和变压扫描电子显微镜(SEM)的有效结合。在低压变压扫描电子显微镜中,氦气被用来减少主电子束的散射量。大多数样品都能从低电压和低真空的组合观测中获得各种益处。与空气中的背散射电子(BSE)图像相比,在 50 Pa 的压力和 1.5 kV 的加速电压下,用氦气拍摄的 BSE 图像的信噪比(SNR)是空气中的 5.4 倍。
DOI:
10.1093/oxfordjournals.jmicro.a023869