N(2-(dimethylamino)ethylacetamidate)tris(ethoxy) titanium | 1360621-43-7

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机氮化合物
• 英文名称: N(2-(dimethylamino)ethylacetamidate)tris(ethoxy) titanium
• CAS: 1360621-43-7
• 化学式: C₁₂H₂₈N₂O₄Ti
• 分子量: 312.245
• InChiKey: YFFOPMZKNBHZSQ-UHFFFAOYSA-M

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  None
• 重原子数：
  None
• 可旋转键数：
  None
• 环数：
  None
• sp3杂化的碳原子比例：
  None
• 拓扑面积：
  None
• 氢给体数：
  None
• 氢受体数：
  None

反应信息

• 作为产物：
  描述：

  tris(ethoxy)monochloro titanium 、 N-(2-(dimethylamino)ethyl)acetamidate lithium 以 四氢呋喃 为溶剂， 反应 16.0h， 生成 N(2-(dimethylamino)ethylacetamidate)tris(ethoxy) titanium
  参考文献：
  名称：

  Amidate precursors for depositing metal containing films

  摘要：

  挥发性金属胺基金属配合物的例子包括双(N-(叔丁基)乙基胺基)双(乙基甲基胺基)钛；(N-(叔丁基)(叔丁基)胺基)三(乙基甲基胺基)钛；双(N-(叔丁基)(叔丁基)胺基)双(二甲基胺基)钛和(N-(叔丁基)(叔丁基)胺基)三(二甲基胺基)钛。术语“挥发性”指的是本发明的任何前体，在低于200°C的温度下，其蒸汽压大于0.5 torr。还描述了使用这些金属胺基配体进行含金属薄膜沉积的方法。

  公开号：

  US08642797B2