摘要:
本公开了一种N-酰基-β-内酰胺衍生物,其由以下通用式表示,从中可以获得一种能够控制酸扩散长度较短的光刻胶组合物;一种由将以下通用式表示的N-酰基-β-内酰胺衍生物聚合而成的聚合物作为起始材料之一;以及含有该聚合物的光刻胶组合物。在该式中,R1代表氢原子、甲基或三氟甲基基团;W代表烷基基团或环烷基基团;n代表0或1;而R2、R3、R4和R5中的每一个独立地代表氢原子、烷基基团、环烃基团或酰氧基团,前提是1)R2和R3,或R4和R5,可以连接在一起形成一个取代或未取代的环,该环在任意位置可能有一个氧原子,2)R3和R4可以连接在一起形成一个取代或未取代的环,该环在任意位置可能有一个氧原子,3)R2、R3、R4和R5中的所有基团不同时为氢原子。