tris-(N-tert-butylacetamidate)ethylcyclopentadienyl zirconium | 1360621-41-5

• 英文名称: tris-(N-tert-butylacetamidate)ethylcyclopentadienyl zirconium
• CAS: 1360621-41-5
• 化学式: C₂₅H₄₅N₃O₃Zr
• 分子量: 526.875
• InChiKey: BVTBTINAEZXUEX-UHFFFAOYSA-K

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  None
• 重原子数：
  None
• 可旋转键数：
  None
• 环数：
  None
• sp3杂化的碳原子比例：
  None
• 拓扑面积：
  None
• 氢给体数：
  None
• 氢受体数：
  None

反应信息

• 作为产物：
  描述：

  bis(ethylcyclopentadienyl)zirconium dichloride 、 N-tert-butylacetamidate lithium 以 四氢呋喃 为溶剂， 反应 32.0h， 以59%的产率得到tris-(N-tert-butylacetamidate)ethylcyclopentadienyl zirconium
  参考文献：
  名称：

  Amidate precursors for depositing metal containing films

  摘要：

  挥发性金属胺基金属配合物的例子包括双(N-(叔丁基)乙基胺基)双(乙基甲基胺基)钛；(N-(叔丁基)(叔丁基)胺基)三(乙基甲基胺基)钛；双(N-(叔丁基)(叔丁基)胺基)双(二甲基胺基)钛和(N-(叔丁基)(叔丁基)胺基)三(二甲基胺基)钛。术语“挥发性”指的是本发明的任何前体，在低于200°C的温度下，其蒸汽压大于0.5 torr。还描述了使用这些金属胺基配体进行含金属薄膜沉积的方法。

  公开号：

  US08642797B2