Sulfonate salts have the formula:
R1SO3—CH(Rf)—CF2SO3−M+
wherein R1 is alkyl or aryl, Rf is H or trifluoromethyl, and M+ is a Li, Na, K, ammonium or tetramethylammonium ion. Onium salts, oximesulfonates and sulfonyloxyimides and other compounds derived from these sulfonate salts are effective photoacid generators in chemically amplified resist compositions.
磺酸盐的
化学式为:R1SO3—CH(Rf)—
CF2SO3−M+,其中R1代表烷基或芳香族基,Rf代表氢或三
氟甲基,M+代表
锂、
钠、
钾、
铵或
四甲基铵离子。从这些
磺酸盐衍生出来的离子盐、氧化磺酰
肟和磺酰氧基
亚胺等化合物是
化学放大型光刻胶组成中有效的光酸发生剂。