[EN] ORGANOMETALLIC COMPLEXES OF ALUMINIUM, GALLIUM AND INDIUM<br/>[FR] COMPLEXES ORGANOMETALLIQUES D'ALUMINIUM, DE GALLIUM ET D'INDIUM
申请人:THE ASSOCIATED OCTEL COMPANY LIMITED
公开号:WO1995004063A1
公开(公告)日:1995-02-09
(EN) Novel organometallic complexes of aluminium, gallium and indium are disclosed, having improved stability and volatility for use in CVD processes. These are donor ligand complexes of the formula MR2.L where M is the metal, R is an alkyl group and L is a ligand containing an amidine (R'N-^..B7-^..B7-^..B7C(R')-^..B7-^..B7-^..B7NR') group, where R' is H, alkyl etc.(FR) L'invention concerne de nouveaux complexes organométalliques d'aluminium, de gallium et d'indium qui ont une stabilité et une volatilité améliorées et qui sont utilisés dans des processus de déposition en phase gazeuse par procédé chimique. Ceux-ci sont des complexes de ligands provenant de donneurs, de la formule MR2.L, dans laquelle M représente le métal, R est un groupe alkyle et L est un ligand contenant une amidine du groupe (R'N-^..B7-^..B7-^..B7C(R')-^..B7-^..B7-^..B7NR') dans lequel R' représente H, alkyle, etc.