申请人:OCG Microelectronic Materials Inc.
公开号:EP0546997A1
公开(公告)日:1993-06-16
Die Erfindung betrifft Polymere mit einem Molekulargewicht (Mw) von 10³ bis 10⁶, gemessen mittels Gelpermeationschromatographie, enthaltend, bezogen auf die Gesamtmenge der im Polymer vorhandenen Strukturelemente, 100 bis 10 Mol-% des wiederkehrenden Strukturelementes der Formel I
wobei A für einen Rest der Formel Ia
steht, und 90 bis 0 Mol-% des wiederkehrenden Strukturelementes der Formel II
worin
R₁ Wasserstoff, Methyl oder Halogen,
R₂ Wasserstoff oder Methyl,
R₃ Wasserstoff, C₁-C₆-Alkyl oder C₆-C₁₂-Aryl und
R₄ C₁-C₆-Alkyl, unsubstituiertes oder mit C₁-C₄-Alkyl, C₁-C₄-alkoxy, C₆-C₁₂-Aryl, Halogen oder Nitrogruppen substituiertes C₆-C₁₂-Aryl oder einen Rest -OR₅ darstellt, wobei
R₅ C₁-C₆-Alkyl oder C₆-C₁₂-Aryl bedeutet, oder worin R₃ und R₅ zusammen einen unsubstituierten oder einen C₁-C₄-alkyl-, C₁-C₄-alkoxy-, C₆-C₁₂-aryl- oder C₆-C₁₂-aryloxysubstituierten Propylen-, Butylen- oder Pentylenrest darstellen,
R₆ und R₇ unabhängig voneinander jeweils Wasserstoff, unsubstituiertes oder mit Halogen, Cyano- oder Nitrogruppen substituiertes C₁-C₄-Alkyl oder ein unsubstituiertes oder mit Halogen, C₁-C₄-Alkoxy-, Hydroxy-, Cyano- oder Nitrogruppen substituiertes Phenyl oder Naphthyl bedeuten,
R₈ und R₉ unabhängig voneinander jeweils Wasserstoff oder Halogen, unsubstituiertes oder durch Halogen, Cyano- oder Nitrogruppen substituiertes C₁-C₁₂-Alkyl, unsubstituiertes oder durch Halogen, Hydroxy-, Cyano-, Nitrogruppen, C₁-C₄-Alkyl oder C₁-C₄-Alkoxy substituiertes Phenyl, Naphthyl oder Benzyl oder einen der folgenden Reste -OR₁₀, -COOR₁₁ oder -COR₁₂ bedeuten, wobei R₁₀ und R₁₁ unabhängig voneinander jeweils Wasserstoff, unsubstituiertes oder durch Halogen, Cyano- oder Nitrogruppen substituiertes C₁-C₁₂-Alkyl, unsubstituiertes oder durch Halogen, Cyano-, Nitrogruppen, C₁-C₄-Alkyl oder C₁-C₄-Alkoxy substituiertes Phenyl oder Naphthyl bedeuten und R₁₂ die gleiche Bedeutung wie R₁₀ hat und ausserdem für den Rest
steht, worin R₁₃ und R₁₄ unabhängig voneinander die gleiche Bedeutung wie R₁₀ haben,
sowie Zusammensetzungen enthaltend diese strahlungsempfindlichen Polymere. Diese Zusammensetzungen eignen sich insbesondere zur Herstellung von integrierten Schaltkreisen.
本发明涉及分子量(Mw)为 10³ 至 10⁶(通过凝胶渗透色谱法测量)的聚合物,根据聚合物中存在的结构元素总量,该聚合物含有 100 至 10 mol%的式 I 循环结构元素。
其中 A 是式 Ia 的基团
和 90 至 0 摩尔%的式 II 循环结构元素
其中
R₁ 是氢、甲基或卤素、
R₂ 是氢或甲基、
R₃ 氢、C₁-C₆-烷基或 C₆-C₁₂-芳基,以及
R₄ 是 C₁-C₆- 烷基、未取代或 C₁-C₄- 烷基、C₁-C₄-烷氧基、C₆-C₁₂-芳基、卤素或硝基基团取代的 C₆-C₁₂- 芳基或基团 -OR₅,其中
R₅ 代表 C₁-C₆- 烷基或 C₆-C₁₂- 芳基,或其中 R₃ 和 R₅ 共同代表未取代的或 C₁-C₄- 烷基、C₁-C₄-烷氧基-、C₆-C₁₂-芳基-或 C₆-C₁₂-芳氧基-取代的丙烯基、丁烯基或戊烯基、
R₆ 和 R₇ 相互独立地各自为氢、未被或被卤素、氰基或硝基取代的 C₁-C₄ 烷基或未被或被卤素、C₁-C₄-烷氧基、羟基、氰基或硝基取代的苯基或萘基、
R₈ 和 R₉ 相互独立地各自为氢或卤素、未取代或被卤素、氰基或硝基取代的 C₁-C₁₂ 烷基、未取代或被卤素取代的 C₁-C₁₂ 烷基、未取代或被卤素取代的 C₁-C₄ 烷氧基、羟基、氰基或硝基、羟基、氰基、硝基、C₁-C₄ 烷基或 C₁-C₄ 烷氧基取代的苯基、萘基或苄基,或以下基团之一 -OR₁₀、-COR₁₁ 或 -COR₁₂、氰基、硝基、C₁-C₄-烷基或 C₁-C₄-烷氧基,R₁₂ 的含义与 R₁₀ 相同,而且对于基团来说
其中 R₁₃和 R₁₄ 相互独立地具有与 R₁₀ 相同的含义、
以及含有这些辐射敏感聚合物的组合物。这些组合物尤其适用于制造集成电路。