【課題】良好なCD均一性(CDU)を有するレジストパターンを製造することができるカルボン酸塩及びこれを含むレジスト組成物を提供することを目的とする。【解決手段】式(I)で表されるカルボン酸塩、クエンチャー及びこれを含むレジスト組成物。[式中、R1、R2及びR3はそれぞれハロゲン原子、フッ化アルキル基又は炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる−CH2−は、−O−、CO−等で置き換わっていてもよい。m1は0〜5の整数、m2は0〜4の整数、m3は0〜3の整数を表す。X1は、単結合、−CH2−、−O−、−S−、−CO−、−SO−又は−SO2−を表す。]【選択図】なし
本发明的目的是提供一种可以制造具有良好CD均一性(CDU)的光刻胶图案的
羧酸盐及其组合物。解决方案是提供由式(I)表示的
羧酸盐,淬灭剂及其组合物。[其中,R1、R2和R3分别表示卤原子,
氟化烷基或碳氢基,包含在该碳氢基中的-
CH2-可以被-O-,-CO-等替换。m1表示0〜5的整数,m2表示0〜4的整数,m3表示0〜3的整数。X1表示单键,- -,-O-,-S-,-CO-,-SO-或-SO2-。][选图]:无。