하기 화학식 1로 표현되는 화합물, 상기 화합물을 포함하는 하드마스크 조성물, 상기 하드마스크 조성물의 경화물을 포함하는 하드마스크 층 및 상기 하드마스크 조성물을 사용하는 패턴형성방법에 관한 것이다. [화학식 1] 상기 화학식 1에서, A 내지 E의 정의는 명세서에 기재된 바와 같다.
这段文字的中文翻译如下:
这是关于以
化学式1表示的化合物,包括所述化合物的硬掩膜组合物,包括所述硬掩膜组合物的固化物的硬掩膜层以及使用所述硬掩膜组合物的图案形成方法。[
化学式1] 在上述
化学式1中,A至E的定义如规范中所述。