【課題】感光材料であって、フォトレジスト等に用いて、重合反応や化学反応に開始剤である。光塩基発生剤として好適であり、かつ塩基発生速度に優れた化合物、光塩基発生剤、およびこの化合物の製造方法を提供する。【解決手段】式(1)で表される化合物。(R1〜R6は各々独立に、H、炭化水素基又は炭化水素オキシ基;R1〜R7の一つは−Y−Z基;Yは二価の連結基;Zは一価の光増感基;Xは−NR8R9、−N=CR10R11又は−N=PR12R13R14)【選択図】なし
这是一段关于光敏材料的描述,可用于制造光刻胶等,作为
引发剂用于聚合反应或
化学反应。提供了一种适用于光碱发生剂且具有良好碱发生速度的化合物、光碱发生剂以及该化合物的制造方法,该化合物由式(1)表示。(其中R1至R6各自独立表示氢、烃基或烃氧基;其中R1至R7中的一个表示- Y-Z基;其中Y表示二价连接基;其中Z表示一价光增感基;其中X表示-NR8R9、-N=CR10R11或-N=PR12R13R14)