摘要:
过去的 40 年见证了光刻技术的飞速发展。该领域的新技术层出不穷。一种工艺步骤简单、成本低、产出高的技术一直是业界梦寐以求的目标。本文提出了一种以两种新的钙钛矿[4]炔衍生物为抗蚀剂的无掩模、免显影光刻方法。通过这种方法,可以用简单的工艺、较短的时间和相对较低的成本制造出微/纳米图案结构。要实现这一目标,抗蚀剂材料必须满足一定的要求,而文献中涉及该方法的论文很少,因为一般的抗蚀剂无法满足所有要求。为了满足这些要求,我们选择了两种经过设计和优化分子结构的钙[4]炔衍生物作为抗蚀剂,它们因分子结构不同而表现出不同的性能。使用两种钙[4]炔衍生物薄膜,即 TCHC 和 THMC 薄膜,通过直接激光写入光刻法获得凹凸图案结构。基于激光诱导热效应,通过直接蒸发 TCHC 薄膜,在 TCHC 薄膜上形成凹形图案结构,而由于可塑性的增强,在 THMC 薄膜上形成凸形图案结构。