[EN] PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, MATERIAL FOR FORMING RELIEF PATTERN, PHOTOSENSITIVE FILM, POLYIMIDE FILM, CURED RELIEF PATTERN AND METHOD FOR PRODUCING SAME, AND SEMICONDUCTOR DEVICE<br/>[FR] COMPOSITION DE RÉSINE PHOTOSENSIBLE, MATÉRIAU PERMETTANT DE FORMER UN MOTIF EN RELIEF, FILM PHOTOSENSIBLE, FILM EN POLYIMIDE, MOTIF EN RELIEF DURCI ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION, ET DISPOSITIF SEMI-CONDUCTEUR
                        
                            
                                申请人:FUJIFILM CORP
                            
                            
                                公开号:WO2013018524A1
                            
                            
                                公开(公告)日:2013-02-07
                            
                             解像性及び感度に優れたリソグラフィー性能を有し、いわゆる低温キュアにおいて、応力が低いことによりウエハ反りを防止する硬化レリーフパターンを形成することができる感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物を用いる、レリーフパターン形成材料、感光性膜、ポリイミド膜、硬化レリーフパターン、その製造方法、及び該硬化レリーフパターンを含む半導体装置を提供する。 (a)下記一般式(1)で表される繰り返し単位を有する樹脂、及び (b)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有する感光性樹脂組成物。 上記一般式(1)中、 R1は、4価の有機基を表す。複数のR1は互いに同一であっても異なっていてもよい。 R2は、2価の有機基を表す。複数のR2は互いに同一であっても異なっていてもよい。 但し複数のR2のうち少なくとも1つは脂環基を有する2価の有機基である。 R3は、各々独立に、水素原子又は有機基を表す。 但し複数の-CO2R3のうち少なくとも1つは、酸の作用により分解しアルカリ可溶性基を生じる基である。
                            
                         
                    
                                                                                           
                        [EN] PROTECTANT, METHOD FOR PRODUCING COMPOUND PROTECTED BY PROTECTANT, RESIN PROTECTED BY PROTECTANT, PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION CONTAINING RESIN PROTECTED BY PROTECTANT, PATTERN-FORMING MATERIAL, PHOTOSENSITIVE FILM, CURED RELIEF PATTERN, METHOD FOR PRODUCING SAME, AND SEMICONDUCTOR DEVICE<br/>[FR] PROTECTEUR, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN COMPOSÉ PROTÉGÉ PAR LE PROTECTEUR, RÉSINE PROTÉGÉE PAR LE PROTECTEUR, COMPOSITION DE RÉSINE PHOTOSENSIBLE CONTENANT LA RÉSINE PROTÉGÉE PAR LE PROTECTEUR, MATIÈRE DE FORMATION DE MOTIF, FILM PHOTOSENSIBLE, MOTIF EN RELIEF DURCI, SON PROCÉDÉ DE FABRICATION ET DISPOSITIF SEMI-CONDUCTEUR
                        
                            
                                申请人:FUJIFILM CORP
                            
                            
                                公开号:WO2013141376A1
                            
                            
                                公开(公告)日:2013-09-26
                            
                             保存安定性に優れるカルボキシル基又はヒドロキシル基の保護剤、該保護剤によりカルボキシル基又はヒドロキシル基が保護され、保存安定性に優れる樹脂、解像性及び感度に優れる前記保護された樹脂を含有する感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物を用いたパターン形成材料、感光性膜、及び硬化膜、並びに該感光性樹脂組成物を用いた硬化レリーフパターンの製造方法、それにより得られた硬化レリーフパターン及び該硬化レリーフパターンを具備する半導体装置を提供する。 下記一般式(I)で表される化合物であるヒドロキシル基又はカルボキシル基の保護剤。(上記一般式中、R1及びR2は、各々独立に、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、シアノ基又はハロゲン原子を表し、R1及びR2の少なくとも1つは、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、シアノ基又はハロゲン原子である。 R3は、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基を表す。 R1及びR2が互いに結合して環を形成していてもよく、R1又はR2がR3と結合して環を形成していてもよい。Xは前記ヒドロキシル基又はカルボキシル基の作用により脱離し得る基を表す。)