摘要:
该发明涉及具有N-氨基甲酸酰胺配体的新金属配合物,更具体地说,涉及具有Ν,Ν'-双(二甲氨基)乙酰胺基甲酸酰胺基、N,N'-双(二甲氨基)甲酰胺基甲酸酰胺基、N-二甲氨基乙酰胺基甲酸酰胺基或N-二甲氨基-N'-异丙基乙酰胺基甲酸酰胺基配体的金属配合物,以及它们的制备和使用。这些金属配合物的特点是具有五元螯合环。这些金属配合物与主族元素PTE的金属形成,也与过渡族元素如钽(Ta)、铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)、铜(Cu)或锌(Zn)以及贵金属如钯(Pd)形成。该发明的配合物可用作通过气相薄膜工艺(如CVD、MO-CVD和ALD)制备功能层的前体。此外,它们还可用作烯烃氢胺化和烯烃聚合的催化剂。