甲基氯(二甲基氨基)硅烷 | 26079-06-1

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机金属化合物 - 有机类金属化合物
• 中文名称: 甲基氯(二甲基氨基)硅烷
• 英文名称: chloro methyl dimethylamino silane
• 英文别名: Dimethylamino-methylchlorsilan；N-[chloro(methyl)silyl]-N-methylmethanamine
• CAS: 26079-06-1
• 化学式: C₃H₁₀ClNSi
• 分子量: 123.658
• InChiKey: XBELNZMRELVVEK-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  0.64
• 重原子数：
  6
• 可旋转键数：
  1
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  1.0
• 拓扑面积：
  3.2
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  1

安全信息

• 海关编码：
  2931900090

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  甲基氯(二甲基氨基)硅烷 、 叔丁胺 在 二氯二甲基硅烷 作用下， 以 正己烷 为溶剂， 反应 22.0h， 以25%的产率得到[(tert-butylamino)(methyl)silyl]dimethylamine
  参考文献：
  名称：

  シリルジアミン化合物及びこれを配位子に有する有機金属化合物

  摘要：

  The problem of the present invention is to provide a novel organometallic compound that can be used for film formation by CVD or ALD methods. The problem of the present invention is solved by the novel organic metal compound having a silyldiamine compound of the present invention as a ligand, and a thin film forming material containing this organic metal compound. In other words, the novel organic metal compound having a silyldiamine compound of the present invention as a ligand is volatile and can be suitably used as a semiconductor film forming material.【Selected drawing】None.

  公开号：

  JP2017222612A
• 作为产物：
  描述：

  甲基二氯硅烷 、 二甲胺 以 乙醚 为溶剂， 生成 甲基氯(二甲基氨基)硅烷
  参考文献：
  名称：

  氯氨基硅烷II。烷基-（二甲基氨基）氯硅烷的制备和光谱研究

  摘要：

  已经制备了同时与硅连接的同时含有氯和二甲基氨基的几种新化合物。一般的方法包括使合适的聚氯硅烷在乙醚中的溶液在约200℃下反应。-用二甲胺的乙醚溶液冷却50°。以这种方式制备的是CH 3 Si（NMe 2）Cl 2，CH 3 Si（NMe 2）2 -Cl，PhSi（NMe 2）Cl 2，PhSi（NMe 2）2 Cl，CH 3（H）Si（NMe 2）氯，（CH 3）2的Si（NME 2）氯，CH 2 CH（CH3）Si（NMe 2）Cl和Ph 2 Si（NMe 2）Cl。这些化合物的光谱与全卤和全胺系列光谱的比较表明，用NMe 2代替Cl导致与硅连接的其他基团的共振发生高场移位，该移位与在取代CH 3时观察到的平行对于Cl。红外光谱中的ν（SiH）和NMR光谱中的δ（SiH）呈线性关系。

  DOI：

  10.1016/s0022-328x(00)90592-8

文献信息

• [EN] NOVEL AMINO-SILYL AMINE COMPOUND, METHOD FOR PERPARING THE 'SAME AND SILICON-CONTAINING THIN-FILM USING THE SAME<br/>[FR] NOUVEAU COMPOSÉ AMINO-SILYL AMINE, SON PROCÉDÉ DE PRÉPARATION ET FILM MINCE CONTENANT DU SILICIUM L'UTILISANT
  申请人：DNF CO LTD

  公开号：WO2014196827A3

  公开（公告）日：2015-04-23