本发明公开一种系列2,3‑二取代丁二
酰亚胺铪或
锆混配配合物及其制备方法和应用,在惰性气体的保护下,将定量的2,3‑二取代丁二
酰亚胺与二胺
铪或
锆化合物加入无
水溶剂中;加入无
水溶剂后,反应一段时间后,过滤,将滤液用减压蒸馏除去溶剂和副产物,得灰
白色固体;将得到的灰
白色固体,经过重结晶升华,得到目标
金属配合物。本发明目的是提供一系列对衬底的污染小、合成方法简便,工艺操作简单,产率高,成本低的2,3‑二取代丁二
酰亚胺铪或
锆混配配合物及其合成方法以及在制备高K材料的应用。此系列前驱体是
配体的位阻大而形成单核化合物,具有较好的挥发性和合适的热稳定性,易于合成,毒性低等特点。