2,6,6-Trimethyl-5,5-bis(trimethylsilyl)-5,6-disilahept-2-yl 2-methyl-2-propenoate | 250588-94-4

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机金属化合物 - 有机类金属化合物
• 英文名称: 2,6,6-Trimethyl-5,5-bis(trimethylsilyl)-5,6-disilahept-2-yl 2-methyl-2-propenoate
• 英文别名: [2-methyl-4-tris(trimethylsilyl)silylbutan-2-yl] 2-methylprop-2-enoate
• CAS: 250588-94-4
• 化学式: C₁₈H₄₂O₂Si₄
• 分子量: 402.872
• InChiKey: NSCZIBMSRREPSR-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  5.97
• 重原子数：
  24
• 可旋转键数：
  9
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.83
• 拓扑面积：
  26.3
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  2

反应信息

• 作为产物：
  描述：

  2,6,6-trimethyl-5,5-bis(trimethylsilyl)-5,6-disilaheptan-2-ol 、 四氢呋喃 、 三乙胺 、 甲基丙烯酰氯 在 2,6-二叔丁基-4-甲基苯酚 氮 、 三乙胺盐酸盐 、 正戊烷 、 resultant solution 作用下， 以 正戊烷 为溶剂， 反应 24.0h， 以to afford the title compound (43.5 g, 67%) as a clear, colorless liquid的产率得到2,6,6-Trimethyl-5,5-bis(trimethylsilyl)-5,6-disilahept-2-yl 2-methyl-2-propenoate
  参考文献：
  名称：

  Silicon-containing alcohols and polymers having silicon-containing tertiary ester groups made therefrom

  摘要：

  本发明的聚合物的特点在于具有至少一个悬挂酯基，其具有与酯氧原子相连的三级碳原子，其中三级碳原子的至少一个取代基包含至少一个硅原子。本发明的聚合物组合物可用作光刻的抗蚀材料，特别是用作成像层或双层抗蚀方案中的顶部成像层，在集成电路制造中使用。本发明的含硅三级醇和酯使得可以制备具有相对较高硅含量的聚合物。

  公开号：

  US06358675B1