摘要:
使用一系列通式VO(L){sub 2}(H)的钒基配合物作为前体,通过化学气相沉积制备氧化钒薄膜,其中L是{β}-二酮配体。沉积在 {alpha}-Al{sub 2}O{sub 3} 衬底上在 O{sub 2}、N{sub 2} 和 N{sub 2} + H{sub 2}O 气氛中进行。为了阐明不同配体和合成条件对所得薄膜性能的影响,通过X射线光电子能谱研究了样品的化学成分,同时通过X射线衍射分析了其微观结构和表面形貌,拉曼和原子力显微镜。前体的热分解,特别注意它们在水蒸气存在下的反应性,