bis(2-(n-hexyloxy)-5-(2-methoxyethyl)benzenesulfonyl)diazomethane | 746652-40-4

• 分子结构分类: 有机化合物 - 苯类化合物 - 酚类
• 英文名称: bis(2-(n-hexyloxy)-5-(2-methoxyethyl)benzenesulfonyl)diazomethane
• 英文别名: 2-[Diazo-[2-hexoxy-5-(2-methoxyethyl)phenyl]sulfonylmethyl]sulfonyl-1-hexoxy-4-(2-methoxyethyl)benzene
• CAS: 746652-40-4
• 化学式: C₃₁H₄₆N₂O₈S₂
• 分子量: 638.847
• InChiKey: ZQQHFSDJGCKCDS-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  7.4
• 重原子数：
  43
• 可旋转键数：
  22
• 环数：
  2.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.58
• 拓扑面积：
  124
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  9

文献信息

• Novel sulfonyldiazomethanes, photoacid generators, resist compositions, and patterning process
  申请人：——

  公开号：US20040167322A1

  公开（公告）日：2004-08-26

  A chemical amplification type resist composition comprising a specific benzenesulfonyldiazomethane containing a long-chain alkoxyl group at the 2-position on benzene ring has many advantages including improved resolution, improved focus latitude, minimized line width variation or shape degradation even on long-term PED, minimized debris left after coating, development and peeling, and improved pattern profile after development and is thus suited for microfabrication.

  一种化学放大型抗蚀组合物，包括在苯环上的2-位含有长链烷氧基基团的特定苯磺酰二氮甲烷，具有许多优点，包括提高分辨率，改善焦点宽度，即使在长期PED上也减少线宽变化或形状退化，涂层、显影和剥离后减少残留物，并在显影后改善图案轮廓，因此适用于微加工。
• US7109311B2
  申请人：——

  公开号：US7109311B2

  公开（公告）日：2006-09-19