圆柱形微放电装置的腔直径小至 13 μm,体积小至几纳升,已在带有和不带有屏幕电极的
金属/聚合物结构中制造。这些装置在 Ne、Xe、空气、Xe/O2 和 Ne/空气混合物中产生稳定的辉光放电,总压力高达所研究的最大值 1200 Torr。30 μm 直径器件中的氖放电对于高于 700 Torr (pd>2.1 Torr cm) 的 pNe 表现良好,并在高于大气压的单电荷 Ne 离子跃迁中产生强烈的 UV 发射。在 650-1100 Torr 范围内的 Xe 也观察到来自 Xe+ 和 Xe2+ 的可见荧光以及似乎归因于中性二聚体的绿色(~530 nm)和蓝色(~484 nm)中的分子特征。空气 (100–740 Torr) 和 Ne/空气混合物中的放电会在近紫外线和紫色中产生强烈的 N2(C→B) 和 N2+(B→X) 发射。在 30 μm 器件中观察到的最低 Ne 放电工作电压为 87 V