next-generation batteries. For the controlled growth of SnO films at low temperatures, atomic layer deposition (ALD) is employed in this study, where the choice of the precursor plays a significant role. A comparative thermal evaluation of four different amidinate-based tin(II) precursors and the influence of the ligand sphere on their physicochemical properties revealed that bis(N,N′-diisopropylformamidinato
一氧化锡 (SnO) 是一种很有前途的氧化物半导体,具有广泛的应用前景,从 p 型场效应晶体管 (FET) 中的沟道材料到用于下一代电池的电极材料。为了在低温下控制 SnO 薄膜的生长,本研究采用原子层沉积 (ALD),其中前体的选择起着重要作用。对四种不同的脒基
锡 ( II ) 前体进行比较热评估以及
配体球对其物理
化学性质的影响表明,双 ( N , N '-
二异丙基甲脒基
锡 ( II ) ( 1) 具有所需的挥发性、良好的热稳定性和对
水的足够反应性,可用作 ALD 前体。
水辅助 ALD 工艺在低至 140 °C 的温度下在 Si 衬底上产生晶体 SnO 薄膜,每循环生长 (
GPC) 为 0.82 Å。通过采用互补的分析工具,即 X 射线衍射 (XRD)、原子力显微镜 (A
FM)、X 射线反射率 (XRR)、卢瑟福背散射光谱/核反应分析 (RBS/NRA) 和 X 射线光电子能谱 ( XP