(Fluoromethylsulfanylamino)sulfanylcyclohexane

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机硫化合物 - 硫基化合物
• 英文名称: (Fluoromethylsulfanylamino)sulfanylcyclohexane
• 英文别名: (fluoromethylsulfanylamino)sulfanylcyclohexane
• 化学式: C₇H₁₄FNS₂
• 分子量: 195.3
• InChiKey: DGFMKSMQJAXQCF-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  2.9
• 重原子数：
  11
• 可旋转键数：
  4
• 环数：
  1.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  1.0
• 拓扑面积：
  62.6
• 氢给体数：
  1
• 氢受体数：
  4

文献信息

• Resist composition, method of forming resist pattern, novel compound and acid generator
  申请人：Kawaue Akiya

  公开号：US20100196820A1

  公开（公告）日：2010-08-05

  A resist composition including a base component (A) which exhibits changed solubility in an alkali developing solution under action of acid and an acid-generator component (B) which generates acid upon exposure, the acid-generator component (B) including an acid generator (B1) containing a compound having a cation moiety represented by general formula (I) (in the formula, R 5 represents a hydrogen atom or an organic group of 1 to 30 carbon atoms which may have a substituent; and Q 5 represents a single bond or a divalent linking group).

  一种抗蚀组合物，包括在酸处理下在碱性显影溶液中表现出溶解性变化的基础组分（A）和在暴露后生成酸的酸生成组分（B），酸生成组分（B）包括含有由通式（I）表示的阳离子基团的酸生成剂（B1）（在该式中，R5代表氢原子或具有1至30个碳原子的有可能具有取代基的有机基团；Q5代表单键或二价连接基团）。