由于在制造步骤中 P 和 As 的交换,使用
金属有机气相外延 (MOVPE) 制造突然的 InGaP∕GaAs 异质界面一直很困难。先前开发了通过 MOVPE 在 GaAs 层上制造 InGaP 异质界面的优化气体开关序列,其中稳定了不稳定的 GaAs 顶面层,并抑制了 InGaP 和 GaAs 层之间的 P 和 As 交换。在这项研究中,通过使用扫描透射电子显微镜 (S
TEM) 定量评估了这种优化的气体切换序列的效果。通过在 S
TEM 中使用 Z 对比方法揭示了原子层级界面处从 GaAs 到 InGaP 的原子组成变化。