申请人:ChemE INC. (주)켐이(120150295523) Corp. No ▼ 160111-0389696BRN ▼318-81-07183
公开号:KR20170120397A
公开(公告)日:2017-10-31
본 발명은 크산텐계 염료 화합물 및 이를 포함하는 포토레지스트 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게 용매에 대한 개선된 용해도를 가질 뿐 아니라 우수한 내열성, 내광성, 내화학성, 잔막율, 현상성 및 강도(Strength)의 구현이 가능한 크산텐계 염료 화합물 및 이를 포함하는 포토레지스트 조성물에 관한 것이다.
本发明涉及一种克斯唐体系染料化合物及其包含的感光树脂组合物,不仅具有对溶剂的改善溶解度,而且能够实现优异的耐热性、耐光性、耐化学性、成膜率、显影性和强度。