Positiv arbeitendes strahlungsempfindliches Gemisch, enthaltend einen mehrfunktionellen alpha-Diazo-beta-ketoester, Verfahren zu dessen Herstellung und strahlungsempfindliches Aufzeichnungsmaterial enthaltend dieses Gemisch
申请人:HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT
公开号:EP0378067A2
公开(公告)日:1990-07-18
Es wird ein positiv arbeitendes strahlungsempfindliches Gemisch beschrieben, enthaltend im wesentlichen eine photoaktive Komponente und ein in Wasser unlösliches, in wäßrig alkalischer Lösung lösliches, zumindest aber quellbares Bindemittel, das dadurch gekennzeichnet ist, daß die photoaktive Komponente ein mehrfunktioneller a-Diazo-ß-Ketoester der allgemeinen Formel ist
worin
R' einen aliphatischen, cycloaliphatischen oder araliphatischen oder aromatischen Rest mit 4 bis 20 Kohlenstoffatomen, wobei einzelne CH2-Gruppen durch Sauerstoff- oder Schwefelatome oder durch N -oder NH-Gruppen ersetzt sein können und/oder Ketogruppen enthalten,
X einen aliphatischen, cycloaliphatischen, carbocyclischen, heterocyclischen oder araliphatischen Rest mit 2 bis 22 Kohlenstoffatome, wobei einzelne CH2-Gruppen durch Sauerstoff- oder Schwefelatome oder durch die Gruppen -NR2-, -C(O)-O-, -C(O)-NR2-, -C(O)-N -, -NR2-C(O)-NR3-, -O-C(O)-NR2-, -O-C(O)-N -, -O-C(O)-O- oder CH-Gruppen durch - N - ersetzt sein können, worin R2 und R3 voneinander unabhängig für Wasserstoff oder einen aliphatischen, carbocyclischen oder araliphatischen Rest stehen,
m eine ganze Zahl von 2 bis 10 und
n eine ganze Zahl von 0 bis 2
bedeuten, mit der Maßgabe, daß
m-n ≧, 2 ist.
Das strahlungsempfindliche Gemisch ist besonders geeignet für die Belichtung mit Strahlung einer Wellenlänge von 190 bis 300 nm.
描述了一种积极工作的辐射敏感混合物,其中主要含有一种光活性成分和一种不溶于水、溶于碱性水溶液但至少可溶胀的粘合剂,其特征在于光活性成分是通式如下的多官能团重氮ß-酮酯
其中
R'是具有 4 至 20 个碳原子的脂肪族、环脂族、芳香族或芳香族基团,单个 CH2 基团有可能被氧或硫原子或 N 或 NH 基团取代和/或含有酮基、
X 是具有 2 至 22 个碳原子的脂肪族、环脂族、碳环族、杂环族或芳香族基团,单个 CH2 基团可被氧或硫原子或基团-NR2-、-C(O)-O-、-C(O)-NR2-取代、-C(O)-N-、-NR2-C(O)-NR3-、-O-C(O)-NR2-、-O-C(O)-N-、-O-C(O)-O-或 CH 基团可被-N-取代,其中 R2 和 R3 相互独立地代表氢或脂肪族、碳环族或芳脂族基团、
m 是 2 到 10 的整数,以及
n 是 0 至 2 的整数
但条件是
m-n≧,2。
辐射敏感混合物尤其适用于波长为 190 至 300 纳米的辐射。