N-(tert-butylamino)(chloromethyl)dimethylsilane

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机金属化合物 - 有机类金属化合物
• 英文名称: N-(tert-butylamino)(chloromethyl)dimethylsilane
• 英文别名: t-butylamino(chloromethyl)dimethylsilane；N-[chloromethyl(dimethyl)silyl]-2-methylpropan-2-amine
• 化学式: C₇H₁₈ClNSi
• 分子量: 179.765
• InChiKey: UCCZVFMGDAROGT-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  2.36
• 重原子数：
  10
• 可旋转键数：
  3
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  1.0
• 拓扑面积：
  12
• 氢给体数：
  1
• 氢受体数：
  1

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  二甲胺 、 N-(tert-butylamino)(chloromethyl)dimethylsilane 在 正丁基锂 作用下， 以 四氢呋喃 、 正己烷 为溶剂， 反应 20.5h， 以29%的产率得到N-(tert-butylamino)-(N'-(dimethylamino)methyl)dimethylsilane
  参考文献：
  名称：

  シリルジアミン化合物及びこれを配位子に有する有機金属化合物

  摘要：

  The problem of the present invention is to provide a novel organometallic compound that can be used for film formation by CVD or ALD methods. The problem of the present invention is solved by the novel organic metal compound having a silyldiamine compound of the present invention as a ligand, and a thin film forming material containing this organic metal compound. In other words, the novel organic metal compound having a silyldiamine compound of the present invention as a ligand is volatile and can be suitably used as a semiconductor film forming material.【Selected drawing】None.

  公开号：

  JP2017222612A
• 作为产物：
  描述：

  氯甲基二甲基氯硅烷 、 叔丁胺 在 三乙胺 作用下， 以 正己烷 为溶剂， 反应 48.0h， 以54%的产率得到N-(tert-butylamino)(chloromethyl)dimethylsilane
  参考文献：
  名称：

  シリルジアミン化合物及びこれを配位子に有する有機金属化合物

  摘要：

  The problem of the present invention is to provide a novel organometallic compound that can be used for film formation by CVD or ALD methods. The problem of the present invention is solved by the novel organic metal compound having a silyldiamine compound of the present invention as a ligand, and a thin film forming material containing this organic metal compound. In other words, the novel organic metal compound having a silyldiamine compound of the present invention as a ligand is volatile and can be suitably used as a semiconductor film forming material.【Selected drawing】None.

  公开号：

  JP2017222612A

文献信息

• Preparation of group 4 metal complexes of a bulky amido-fluorenyl ligand
  作者：H.V. Rasika Dias、Ziyun Wang、Simon G. Bott

  DOI：10.1016/0022-328x(95)05803-w

  日期：1996.2

  spectroscopic and structural characterization of new amido-fluorenyl ligand [Me3CN(H)Si(Me)2CH2C3H8}Li(THF)] (1) is reported. The treatment of 1 with BuLi followed by the reaction with Group 4 metal chlorides led to crystalline, solvent free, metal complexes [(η1−NCME3)Si(Me)2CH2(η5−C13H8)}MCl2] () in good yield. The X-ray crystal structures of 4 and 5 are also reported. Both these compounds possess monomeric

  合成，新的酰氨基-芴基配体的光谱和结构表征[我3 CN（H）Si（ME）2 CH 2 C 3 ħ 8 }的Li（THF）]（1被报告）。治疗1用BuLi接着用[（导致结晶4族金属氯化物，不含溶剂，金属配合物反应η 1 -NCME 3）的Si（Me）的2 CH 2（η 5 -C 13 ħ 8）} MCl 2 ]（），收率高。4和5的X射线晶体结构也有报道。这两种化合物都具有带有相对短的MN和MCl键的单体结构。4和5的MN距离分别为2.060（3）Å和2.065（3）Å。金属离子配位到芴基在η 5 -时尚。X射线数据还表明在这些金属络合物中存在相对未应变的配体主链。
• PREPARATION OF METAL COORDINATION COMPLEX
  申请人：THE DOW CHEMICAL COMPANY

  公开号：EP0563365B1

  公开（公告）日：1997-11-05