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4 족 전이금속-함유 전구체 화합물, 이의 제조 방법, 이를 포함하는 전구체 조성물, 및 이를 이용하는 박막의 증착 방법
申请人:UP CHEMICAL CO., LTD. 주식회사 유피케미칼(119987005148) Corp. No ▼ 130111-0048248
公开号:KR20150035855A
公开(公告)日:2015-04-07
본원은 4 족 전이금속-함유 전구체 화합물, 상기 전구체 화합물의 제조 방법, 상기 전구체 화합물을 포함하는 박막 증착용 전구체 조성물, 및 상기 전구체 화합물을 이용하는 박막의 증착 방법에 관한 것이다.
这是一段韩文,以下是翻译成中文的结果:
本发明涉及四族过渡金属含有的前驱体化合物,制备前述前驱体化合物的方法,包含前述前驱体化合物的薄膜沉积用前驱体组合物,以及使用前述前驱体化合物进行薄膜沉积的方法。
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Baranwal, Balram P.; Mehrotra, Ram C., Australian Journal of Chemistry, 1980, vol. 33, p. 37 - 44
作者:Baranwal, Balram P.、Mehrotra, Ram C.
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Kalies, Wolfgang; Witt, Brigitte; Schroeder, Renate, Zeitschrift fur Chemie, 1984, vol. 24, p. 31 - 32
作者:Kalies, Wolfgang、Witt, Brigitte、Schroeder, Renate、Gaube, Walter
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Dodonov, V. A.; Gushchin, A. V.; Grishin, D. F., Journal of general chemistry of the USSR, 1984, vol. 54, p. 87 - 89
作者:Dodonov, V. A.、Gushchin, A. V.、Grishin, D. F.、Brilkina, T. G.
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Dodonov, V. A.; Gushchin, A. V.; Grishin, D. F., Journal of general chemistry of the USSR, 1984, vol. 54, # 1, p. 87 - 89
作者:Dodonov, V. A.、Gushchin, A. V.、Grishin, D. F.、Brilkina, T. G.
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