氧化铈(CeO 2)薄膜具有许多应用,并且通过液体注入MOCVD(
金属有机
化学气相沉积)或ALD(原子层沉积)进行合成需要挥发性前体化合物。在这里我们报告与供体功能化的醇盐
配体mmp(1-甲氧基-2-甲基
丙烷-2-
油酸酯),
DMap(1-(二甲基
氨基)
丙烷-2-醇酸酯)的一系列均配和杂配Ce(IV)配合物的合成),以及
DMOP(2-(4,4-二甲基-
4,5-二氢恶唑-2-基)丙-2-醇
钠)和它们作为MOCVD和
铈的ALD前体的潜在2。通过与[Ce(OBu t)4 ]的醇交换反应合成了新的配合物。[Ce(mmp)4 ]和[Ce(
DMap)4均被认为是CeO 2液体注入MOCVD的极佳前体,可沉积出具有极低碳污染的高纯度薄膜,并且都具有大的扩散控制生长温度范围([Ce(mmp)为350-600°C )4 ]; [Ce(
DMap)4 ]的温度为300-600°C 。[Ce(mmp)4 ]也是使用H