六（乙基氨基）乙硅烷 | 532980-53-3

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机盐 - 有机金属盐
• 中文名称: 六（乙基氨基）乙硅烷
• 英文名称: hexakisethylaminodisilane
• 英文别名: (HNEt)3Si-Si(HNEt)3；N-[bis(ethylamino)-[tris(ethylamino)silyl]silyl]ethanamine
• CAS: 532980-53-3
• 化学式: C₁₂H₃₆N₆Si₂
• 分子量: 320.629
• InChiKey: WMAAIGILTZEOHE-UHFFFAOYSA-N

物化性质

• 熔点：
  -7°C
• 沸点：
  257°C
• 密度：
  1.0

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  -0.4
• 重原子数：
  20
• 可旋转键数：
  13
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  1.0
• 拓扑面积：
  72.2
• 氢给体数：
  6
• 氢受体数：
  6

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  六（乙基氨基）乙硅烷 、 乙胺盐酸盐 反应 7.0h， 生成 1,4-diethyl-2,2,3,3,5,5,6,6-octakisethylamino-1,4-diaza-2,3,5,6-tetrasilacyclohexane
  参考文献：
  名称：

  CYCLIC AZA-SILA COMPOUNDS

  摘要：

  该发明涉及由通式(I)和(II)的4至10个单元通过Si—Si或Si—N单键连接而成的环状氮硅化合物，其中Y从—NR1R2、氢和卤素中选择，R1和R2从氢和具有1至20个碳原子的碳氢基团中选择，R3是具有1至20个碳原子的碳氢基团，但规定至少有两个通式(I)单元通过Si—Si单键在环中彼此连接，最多35摩尔%的Y基团是氢，最多15摩尔%的Y基团是卤素，以及其生产方法。

  公开号：

  US20110301373A1
• 作为产物：
  描述：

  六氯乙硅烷 、 乙胺 以 正己烷 为溶剂， 以84%的产率得到六（乙基氨基）乙硅烷
  参考文献：
  名称：

  Composition and method for low temperature deposition of silicon-containing films such as films including silicon nitride, silicon dioxide and/or silicon-oxynitride

  摘要：

  硅前体用于制造半导体器件中形成含硅薄膜，例如低介电常数（k）薄膜，高k栅极硅酸盐，低温硅外延膜和含有硅氮化物（Si3N4），硅氧氮化物（SiOxNy）和/或二氧化硅（SiO2）的薄膜。本发明的前体适用于低温（例如<500℃）化学气相沉积过程中使用，用于制造超大规模集成电路器件和器件结构。

  公开号：

  US20040096582A1

文献信息

• METHOD FOR PRODUCING AND STABILIZING OLIGOAMINOSILANES
  申请人：Knies Wolfgang

  公开号：US20110295032A1

  公开（公告）日：2011-12-01

  The invention relates to a method for producing oligoaminosilanes of the general formula (I) Si n Y 2n+2 , wherein oligohalosilanes of the general formula (II) Si n X 2n+2 are reacted with primary amines of the general formula (III) R—NH 2 in hydrocarbons as solvents, wherein X is selected from among chlorine, bromine, and iodine, Y is a halogen, hydrogen, or R—NH, R is a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and n is values from 1 to 20, with the stipulation that at most 35 mol % of the groups Y is a hydrogen and at most 15 mol % of the groups Y is a halogen, wherein activated carbon is added to the reaction mixture. The invention further relates to a method for stabilizing the oligoaminosilanes of the general formula (I), wherein the oligo ammosilanes are treated with activated carbon.

  本发明涉及一种制备通式（I）SinY2n+2的寡聚氨基硅烷的方法，其中寡卤代硅烷通式（II）SinX2n+2与一次胺通式（III）R—NH2在烃类溶剂中反应，其中X从氯、溴和碘中选择，Y是卤素、氢或R—NH，R是具有1至20个碳原子的烃基，n的值为1至20，但最多35摩尔％的Y基团为氢，最多15摩尔％的Y基团为卤素，反应混合物中加入活性炭。本发明还涉及一种稳定通式（I）寡聚氨基硅烷的方法，其中寡氨基硅烷与活性炭处理。