作者:E. L. Piner、M. K. Behbehani、N. A. El-Masry、J. C. Roberts、F. G. McIntosh、S. M. Bedair
DOI:10.1063/1.119775
日期:1997.10.6
H, C, and O impurity concentrations in metalorganic chemical vapor deposition grown InGaN were found to be dependent on the hydrogen and NH3 flow rates. By increasing the hydrogen flow rate from 0 to 100 sccm, a decrease of greater than two orders of magnitude in the C and O impurity levels and one order of magnitude in the H impurity level was observed. Increasing the NH3 flow rate from 1 to 5 slm
发现金属有机化学气相沉积生长的 InGaN 中的 H、C 和 O 杂质浓度取决于氢气和 NH3 的流速。通过将氢气流速从 0sccm 增加到 100sccm,观察到 C 和 O 杂质水平下降超过两个数量级,H 杂质水平下降一个数量级。将 NH3 流速从 1 slm 增加到 5 slm 会导致 C 浓度降低以及 H 和 O 浓度增加,这表明高纯度 NH3 (99.999%) 可能是 O 污染的重要来源。其他研究表明,当 InGaN 薄膜中的 InN 百分比增加时,无论生长条件如何变化,杂质浓度都会增加。