Dimethyl(phenyl)sulfonium nonafluorobutane-1-sulfonate | 220133-51-7

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机卤素化合物 - 卤代烷
• 英文名称: Dimethyl(phenyl)sulfonium nonafluorobutane-1-sulfonate
• 英文别名: dimethyl(phenyl)sulfanium;1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate
• CAS: 220133-51-7
• 化学式: C12H11F9O3S2
• 分子量: 438.3
• InChiKey: MLBXQNFRDRQIOL-UHFFFAOYSA-M

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  3.88
• 重原子数：
  26
• 可旋转键数：
  3
• 环数：
  1.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.5
• 拓扑面积：
  66.6
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  12

文献信息

• RADIATION-SENSITIVE COMPOSITION OF CHEMICAL AMPLIFICATION TYPE
  申请人：Clariant International Ltd.

  公开号：EP1033624A1

  公开（公告）日：2000-09-06

  A chemically amplified radiation sensitive composition is provided which comprises a film forming hydroxystyrene based resin in combination with an onium salt precursor which generates a fluorinated alkanesulfonic acid as a photoacid generator. This composition can realize neither corrosion of apparatuses by outgas, nor T-shaped pattern profiles, nor change in linewidth attributable to process time delay, on the other side, high sensitivity and resolution, and good pattern profiles and stability thereof.

  本发明提供了一种化学放大辐射敏感组合物，该组合物由成膜的羟基苯乙烯基树脂与鎓盐前体结合而成，鎓盐前体生成氟化烷磺酸作为光酸发生器。这种组合物既不会因放出气体而腐蚀设备，也不会产生 T 型图案轮廓，也不会因加工时间延迟而改变线宽，同时还具有高灵敏度和高分辨率，以及良好的图案轮廓和稳定性。
• US6358665B1
  申请人：——

  公开号：US6358665B1

  公开（公告）日：2002-03-19