三(二甲氨基)甲基硅烷 | 3768-57-8

• 物质功能分类: 化学试剂 - 硅烷试剂
• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机金属化合物 - 有机类金属化合物
• 中文名称: 三(二甲氨基)甲基硅烷
• 中文别名: 邻仲丁基苯基甲基氨基甲酸酯；巴沙
• 英文名称: methyltri(dimethylamino)silane
• 英文别名: Tris-dimethylamino-methyl-silan；Methyl-tris-dimethylamino-silan；Tris(dimethylamino)methylsilane；N-[bis(dimethylamino)-methylsilyl]-N-methylmethanamine
• CAS: 3768-57-8
• 化学式: C₇H₂₁N₃Si
• mdl: MFCD00025643
• 分子量: 175.349
• InChiKey: AHKKZIUZTWZKDR-UHFFFAOYSA-N

物化性质

• 熔点：
  -11°C
• 沸点：
  55 °C
• 密度：
  0.85
• 闪点：
  30°C

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  -0.58
• 重原子数：
  11
• 可旋转键数：
  3
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  1.0
• 拓扑面积：
  9.7
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  3

安全信息

• TSCA：
  Yes
• 安全说明：
  S16,S26,S36/37/39
• 危险类别码：
  R10,R36/37/38
• 危险品运输编号：
  UN 1993
• 海关编码：
  2931900090

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  三(二甲氨基)甲基硅烷 、 苯甲酰氯 生成 甲基三氯硅烷
  参考文献：
  名称：

  Dialkylaminogermanes and Dialkylaminosilanes

  摘要：

  DOI：

  10.1021/ja01126a017
• 作为产物：
  描述：

  甲基三氯硅烷 、 二甲胺 以 乙醚 为溶剂， 生成 三(二甲氨基)甲基硅烷
  参考文献：
  名称：

  氯氨基硅烷II。烷基-（二甲基氨基）氯硅烷的制备和光谱研究

  摘要：

  已经制备了同时与硅连接的同时含有氯和二甲基氨基的几种新化合物。一般的方法包括使合适的聚氯硅烷在乙醚中的溶液在约200℃下反应。-用二甲胺的乙醚溶液冷却50°。以这种方式制备的是CH 3 Si（NMe 2）Cl 2，CH 3 Si（NMe 2）2 -Cl，PhSi（NMe 2）Cl 2，PhSi（NMe 2）2 Cl，CH 3（H）Si（NMe 2）氯，（CH 3）2的Si（NME 2）氯，CH 2 CH（CH3）Si（NMe 2）Cl和Ph 2 Si（NMe 2）Cl。这些化合物的光谱与全卤和全胺系列光谱的比较表明，用NMe 2代替Cl导致与硅连接的其他基团的共振发生高场移位，该移位与在取代CH 3时观察到的平行对于Cl。红外光谱中的ν（SiH）和NMR光谱中的δ（SiH）呈线性关系。

  DOI：

  10.1016/s0022-328x(00)90592-8

文献信息

• SILICON PRECURSOR AND METHOD OF MANUFACTURING SILICON-CONTAINING THIN FILM USING THE SAME
  申请人：HANSOL CHEMICAL CO., LTD.

  公开号：US20210277031A1

  公开（公告）日：2021-09-09

  The present invention relates to a vapor deposition compound capable of thin film deposition through vapor deposition, and particularly to a silicon precursor capable of being applied to ALD or CVD, and specifically, enabling high temperature deposition, and a method of manufacturing a silicon-containing thin film.

  本发明涉及一种蒸发沉积化合物，能够通过蒸发沉积进行薄膜沉积，特别是一种可用于原子层沉积（ALD）或化学气相沉积（CVD）的硅前体，具有高温沉积能力，并且涉及一种制造含硅薄膜的方法。
• Gmelin Handbuch der Anorganischen Chemie, Gmelin Handbook: Si: MVol.C, 111, page 310 - 313
  作者：

  DOI：——

  日期：——
• 1-Organyl-2-azasilatran-3-ones
  作者：N. F. Lazareva、I. M. Lazarev

  DOI：10.1134/s1070363213090053

  日期：2013.9

  New 1-organyl-2-azasilatran-3-ones have been synthesized via the reaction of trifunctional silanes RSiX3 (R = Et, Pr, Ph, CH2=CH, or ClCH2; X = Cl or Me2N) with N,N-bis(2-hydroxyethyl)glycinamides (HOCH2CH2)(2)NCH2C(O)NHR (R = H or Me) and their N',O-trimethylsilyl derivatives. The obtained products can be hydrolyzed to give the corresponding organylsilanetriols. Lithiation of 1-methyl- and 1-phenyl-2-azasilatran-3-ones with n-butyllithium or their reduction with lithium aluminum hydride leads to the products of splitting of the atrane backbone RSiBu3 and RSiH3 (R = Me or Ph), respectively.
• Lukevits,E. et al., Journal of general chemistry of the USSR, 1977, vol. 47, p. 98 - 101
  作者：Lukevits,E. et al.

  DOI：——

  日期：——
• WONING, J.;VERKADE, J. G., J. AMER. CHEM. SOC., 113,(1991) N, C. 944-949
  作者：WONING, J.、VERKADE, J. G.

  DOI：——

  日期：——