摘要:
本发明涉及一组新颖的同源八元环化合物,其中含有金属(例如铜)在环中可逆结合,并含有碳、氮、硅和/或其他金属。该发明化合物的结构表示如下:1其中M和M'均为金属,例如Cu、Ag、Au和Ir;X和X'可以是N或O;Y和Y'可以是Si、C、Sn、Ge、Al或B;Z和Z'可以是C、N或O。由R1、R2、R3、R4、R5、R6、R1'、R2'、R3'、R4'、R5'和R6'表示的取代基将根据它们所附着的环原子而变化。本发明还涉及使用上述新颖化合物作为前体,在ALD或CVD条件下,在基底上沉积金属和金属含量薄膜。