申请人:PPM PURE METALS GMBH
公开号:EP0460598A1
公开(公告)日:1991-12-11
Die Erfindung betrifft elementorganische Verbindungen, die sich durch eine oder mehrere Element-Stickstoff-Bindungen auszeichnen, sowie deren Verwendung zur Herstellung dünner Filme oder epitaktischer Schichten durch Gasphasenabscheidung.
本发明涉及以一个或多个元素氮键为特征的有机元素化合物,以及它们在通过气相沉积法生产薄膜或外延层中的应用。