[EN] OXIME SULFONATES AND THE USE THEROF AS LATENT ACIDS<br/>[FR] OXIMESULFONATES ET UTILISATION DE CEUX-CI EN TANT QU'ACIDES LATENTS
申请人:CIBA SC HOLDING AG
公开号:WO2007147782A2
公开(公告)日:2007-12-27
[EN] Compounds of the formula (I), (Il) or (III), wherein R1 is for example C1-C18alkylsulfonyl, C1-C10haloalkylsulfonyl, camphorylsulfonyl, phenyl-C1-C3alkylsulfonyl, phenylsulfonyl, naphthylsulfonyl, anthrylsulfonyl, phenanthrylsulfonyl or heteroarylsulfonyl, R'1 is for example phenylenedisulfonyl, R2 is for example CN, C1-C10haloalkyl or C1-C10haloalkyl which is substituted by (IV); Ar1 is for example phenyl optinally substituted by a group of formula (IV); Ar'1 is for example phenylene which optionally is substituted by a group of formula (IV); A1, A2 and A3 independently of each other are for example hydrogen, halogen, CN, or C1-C18alkyl; D2 is for example a direct bond, O, (CO)O, (CO)S, SO2, OSO2 or C1-C18alkylene; or A3 and D2 together form C3-C30cycloalkenyl; or A2 and D2 together with the carbon of the ethylenically unsaturated double bond to which they are attached form C3-C30cycloalkyl; D3 and D4 for example independently of each other are a direct bond, O, S, C1-C18alkylene or C3-C30cycloalkylene provided that at least one of the radicals R2, Ar1 or Ar1' comprises a group of the formula (IV); are suitable as photolatent acid donors and for the preparation of corresponding polymers to be employed in chemically amplified photoresists.
[FR] Composés de formule (I), (II) ou (III), dans lesquelles R1 est par exemple un alkylsulfonyle en C1-C18, un halogénoalkylsulfonyle en C1-C10, un camphorylsulfonyle, un phényl(alkylsulfonyle en C1-C3), un phénylsulfonyle, un naphtylsulfonyle, un anthrylsulfonyle, un phénanthrylsulfonyle ou un hétéroarylsulfonyle ; R'1 est par exemple un phénylènedisulfonyle ; R2 est par exemple CN, un halogénoalkyle en C1-C10 ou un halogénoalkyle en C1-C10 qui est substitué par un groupe de formule (IV) ; Ar1 est par exemple un phényle éventuellement substitué par un groupe de formule (IV) ; Ar'1 est par exemple un phénylène qui est éventuellement substitué par un groupe de formule (IV) ; A1, A2 et A3 sont chacun indépendamment des autres par exemple un hydrogène, un halogène, CN ou un alkyle en C1-C18 ; D2 est par exemple une liaison directe, O, (CO)O, (CO)S, SO2, OSO2 ou un alkylène en C1-C18 ; ou A3 et D2 forment ensemble un cycloalcényle en C3-C30 ; ou A2 et D2 forment avec le carbone de la double liaison à insaturation éthylénique auquel ils sont attachés un cycloalkyle en C3-C30 ; D3 et D4 sont chacun indépendamment de l'autre par exemple une liaison directe, O, S, un alkylène en C1-C18 ou un cycloalkylène en C3-C30, à condition qu'au moins l'un des radicaux R2, Ar1 ou Ar1' comprenne un groupe de formule (IV) ; lesquels conviennent en tant que donneurs d'acides photolatents et pour la préparation de polymères correspondants à employer dans des résines photosensibles chimiquement amplifiées.