[EN] 4-BENZYL-PYROGALLOL, DIAZO-NAPHTHOQUINONE SULFONYL ESTER, PHOTORESIST, METHODS OF MAKING AFOREMENTIONED COMPOUNDS AND COMPOSITIONS
申请人:EAST SHORE CHEMICAL COMPANY
公开号:WO1987006023A1
公开(公告)日:1987-10-08
(EN) The specification discloses photosensitizers comprising esters of 1-oxo-2-diazo-naphthalene sulfonic acid and 4-benzyl-1,2,3-trihydroxybenzene, photo resists based thereon and methods for making the necessary intermediates and final products.(FR) Sont décrits des photosensibiliseurs comprenant des esters de l'acide 1-oxo-2-diazo-naphthalène sulphonique et de 4-benzyl-1,2,3-trihydroxybenzène, des photoréserves à base desdits composés et des procédés permettant d'obtenir les produits intermédiaires nécessaires ainsi que les produits finaux.