一系列一般类型Ru(CO)2(P(n- Bu)3)2(O 2 CR)2(4a,R = Me; 4b,R = Et; 4c,R = i-Pr的
钌配合物;;4d,R =t- Bu;4e,R = CH 2 OCH 3;4f,R = CF 3;4g,R = CF 2 CF 3)是通过Ru 3(CO)12与
氯的单步反应合成的。 P(正丁基)3和相应的
羧酸。讨论了固态的4b,4c和4e–g的分子结构。所有
钌络合物对空气和湿气均稳定,熔点低。可以通过修饰
羧酸酯配体来调节包括蒸气压在内的物理性质。
钌前体4a–f的
化学气相沉积在垂直冷壁CVD反应器中在
氮气氛中在350至400℃的基材温度下进行。这些实验表明,所有前体都非常适合沉积
磷掺杂的
钌层,而无需添加任何反应性气体或额外的
磷源。在膜中,通过X
PS分析测定了11至16mol%之间的
磷含量。所获得的层的厚度在25至65 nm之间,并且高度保形和致密,如
SEM和A
FM研究所证明的那样。