通过提出一种新的吸水模型,定量研究了湿度对具有二维六方周期多孔结构的自组装多孔二氧化硅薄膜介电常数和漏电流的影响。H 2 O 吸附量由修正的瑞利模型计算,假设 H 2 O 分子吸附在圆柱形多孔二氧化硅结构的内表面,形成分散的同心双层介电圆柱体系统。由所提出的模型计算出的 H 2 O 量与测得的介电常数和热重数据一致。这表明具有疏水基团的圆柱形多孔二氧化硅壁的内表面覆盖是抑制水吸附的最有效方法。
Ballato, John; James, Andrew, Journal of the American Ceramic Society, 1999, vol. 82, # 8, p. 2273 - 2275
作者:Ballato, John、James, Andrew
DOI:——
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Andrianow; Makarowa, Izvestiya Akademii Nauk SSSR, Seriya Khimicheskaya, 1957, p. 569,573;engl.Ausg.S.583,587
作者:Andrianow、Makarowa
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Influence of Humidity on Electrical Characteristics of Self-Assembled Porous Silica Low-k Films
作者:T. Kikkawa、S. Kuroki、S. Sakamoto、K. Kohmura、H. Tanaka、N. Hata
DOI:10.1149/1.1931428
日期:——
The influence of humidity on the dielectric constant and leakage current of self-assembledporoussilicafilms which have two-dimensional hexagonal periodic porous structures was investigated quantitatively by proposing anew water adsorption model. The amount of H 2 O adsorption was calculated by the modified Rayleigh model, where H 2 O molecules are assumed to be adsorbed on the inner surface of cylindrical
通过提出一种新的吸水模型,定量研究了湿度对具有二维六方周期多孔结构的自组装多孔二氧化硅薄膜介电常数和漏电流的影响。H 2 O 吸附量由修正的瑞利模型计算,假设 H 2 O 分子吸附在圆柱形多孔二氧化硅结构的内表面,形成分散的同心双层介电圆柱体系统。由所提出的模型计算出的 H 2 O 量与测得的介电常数和热重数据一致。这表明具有疏水基团的圆柱形多孔二氧化硅壁的内表面覆盖是抑制水吸附的最有效方法。