1-Diazo-1-(6,7-dibutoxynaphthalen-2-yl)sulfonyl-3,3-dimethylbutan-2-one

• 分子结构分类: 有机化合物 - 苯类化合物 - 萘
• 英文名称: 1-Diazo-1-(6,7-dibutoxynaphthalen-2-yl)sulfonyl-3,3-dimethylbutan-2-one
• 英文别名: 1-diazo-1-(6,7-dibutoxynaphthalen-2-yl)sulfonyl-3,3-dimethylbutan-2-one
• 化学式: C24H32N2O5S
• 分子量: 460.6
• InChiKey: PAGQTLOIOPPWBM-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  6.3
• 重原子数：
  32
• 可旋转键数：
  12
• 环数：
  2.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.5
• 拓扑面积：
  80
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  6

文献信息

• Novel sulfonyldiazomethanes, photoacid generators, resist compositions, and patterning process
  申请人：——

  公开号：US20040166432A1

  公开（公告）日：2004-08-26

  A chemical amplification type resist composition comprising a specific sulfonyldiazomethane containing long-chain alkoxyl groups has many advantages including improved resolution, improved focus latitude, minimized line width variation or shape degradation even on long-term PED, minimized debris left after coating, development and peeling, and improved pattern profile after development and is thus suited for microfabrication.

  一种化学放大型抗蚀组合物，包括具有长链烷氧基基团的特定磺酰二氮甲烷，具有许多优点，包括改善分辨率、改善焦点宽度、即使在长期PED上也减少线宽变化或形状退化、涂覆、显影和剥离后减少残留的碎屑，并在显影后改善图案轮廓，因此适用于微细加工。
• US7101651B2
  申请人：——

  公开号：US7101651B2

  公开（公告）日：2006-09-05