2-[tris(trimethylsilyl)silyl]ethanol | 90913-72-7

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机金属化合物 - 有机类金属化合物
• 英文名称: 2-[tris(trimethylsilyl)silyl]ethanol
• 英文别名: 2-tris(trimethylsilyl)silylethanol
• CAS: 90913-72-7
• 化学式: C₁₁H₃₂OSi₄
• 分子量: 292.716
• InChiKey: HHVZXGUXWQCHAS-UHFFFAOYSA-N

物化性质

• 沸点：
  272.9±42.0 °C(Predicted)
• 密度：
  0.834±0.06 g/cm3(Predicted)

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  3.68
• 重原子数：
  16
• 可旋转键数：
  5
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  1.0
• 拓扑面积：
  20.2
• 氢给体数：
  1
• 氢受体数：
  1

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  2-[tris(trimethylsilyl)silyl]ethanol 、 1-ethyl acetate 、 甲基丙烯酰氯 在 sodium hydroxide 、 三乙胺 作用下， 以 甲醇 、 二氯甲烷 为溶剂， 生成 2-[tris(trimethylsilyl)silyl]ethyl (meth)acrylate
  参考文献：
  名称：

  Preparation of tris (trimethylsilyl) silylethyl esters

  摘要：

  在工业上，制备高产率的2-[三(三甲基硅基)硅基]乙基(甲)丙烯酸酯的可接受过程涉及将2-[三(三甲基硅基)硅基]乙基醋酸酯与醇在催化剂存在下反应，形成2-[三(三甲基硅基)硅基]乙醇，然后将其与(甲)丙烯酸酯反应。

  公开号：

  US20010007909A1
• 作为产物：
  描述：

  (Me3Si)3SiLi 、 环氧乙烷 以81%的产率得到
  参考文献：
  名称：

  BROOK, A. G.;CHRUSCIEL, J. J., ORGANOMETALLICS, 1984, 3, N 8, 1317-1318

  摘要：

  DOI：

文献信息

• Process for using bilayer photoresist
  申请人：International Business Machines Incorporated

  公开号：US05985524A1

  公开（公告）日：1999-11-16

  The invention relates to a process for forming bilayer resist images with a chemically-amplified, radiation-sensitive bilayer resist. The bilayer resist is disposed on a substrate and comprises (i) a top imaging layer comprising a radiation-sensitive acid generator and a vinyl polymer having an acid-cleavable silylethoxy group and (ii) an organic underlayer. The bilayer resist is used in the manufacture of integrated circuits.

  本发明涉及一种使用化学增强、辐射敏感的双层光阻形成双层光阻图像的工艺。所述双层光阻被放置在基板上，包括（i）顶部成像层，包括辐射敏感的酸发生剂和具有酸可裂解的硅乙氧基的乙烯基聚合物和（ii）有机底层。所述双层光阻用于集成电路的制造。
• BROOK, A. G.;CHRUSCIEL, J. J., ORGANOMETALLICS, 1984, 3, N 8, 1317-1318
  作者：BROOK, A. G.、CHRUSCIEL, J. J.

  DOI：——

  日期：——
• USRE038282E1
  申请人：——

  公开号：——

  公开（公告）日：——
• US06291696B1
  申请人：——

  公开号：——

  公开（公告）日：——
• Preparation of tris (trimethylsilyl) silylethyl esters
  申请人：——

  公开号：US20010007909A1

  公开（公告）日：2001-07-12

  An industrially acceptable process for preparing 2-[tris(trimethylsilyl)silyl]ethyl (meth)acrylate in high yields involves reacting 2-[tris(trimethylsilyl)silyl]ethyl acetate with an alcohol in the presence of a catalyst to form 2-[tris(trimethylsilyl)silyl]ethanol, then reacting it with a (meth)acrylate ester.

  在工业上，制备高产率的2-[三(三甲基硅基)硅基]乙基(甲)丙烯酸酯的可接受过程涉及将2-[三(三甲基硅基)硅基]乙基醋酸酯与醇在催化剂存在下反应，形成2-[三(三甲基硅基)硅基]乙醇，然后将其与(甲)丙烯酸酯反应。