[EN] COMPOSITIONS AND METHODS FOR DEPOSITING SILICON-CONTAINING FILMS<br/>[FR] COMPOSITIONS ET PROCÉDÉS PERMETTANT UN DÉPÔT DE FILMS CONTENANT DU SILICIUM
申请人:VERSUM MAT US LLC
公开号:WO2019055393A8
公开(公告)日:2020-03-26
The Preparation of Cyclic Siliconmethylene Compounds