methyl (3-triethoxysilyl)propyl carbonate | 41422-98-4

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机金属化合物 - 有机类金属化合物
• 英文名称: methyl (3-triethoxysilyl)propyl carbonate
• 英文别名: Methyl 3-triethoxysilylpropyl carbonate
• CAS: 41422-98-4
• 化学式: C₁₁H₂₄O₆Si
• 分子量: 280.393
• InChiKey: SHEKZMJNXZXWDZ-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  2.21
• 重原子数：
  18
• 可旋转键数：
  12
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.91
• 拓扑面积：
  63.2
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  6

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  methyl (3-triethoxysilyl)propyl carbonate 在 三乙醇胺 、 sodium hydroxide 作用下， 以 四氢呋喃 为溶剂， 反应 4.0h， 以5.1 g的产率得到methyl 3-(2,8,9-trioxa-5-aza-1-silabicyclo[3.3.3]undecan-1-yl)propyl carbonate
  参考文献：
  名称：

  硅化合物

  摘要：

  本发明涉及由以下式1表示的硅化合物：[式1]其中R1‑R6各自独立地选自氢、烃基和非烃基，L为直接键或亚烃基，X为氧(O)或硫(S)，Y和Z各自独立地选自NR7、O和S，其中R7为氢、烃基或非烃基，且Y和Z不同时为NR7，A为n价基团，其中n为1‑6的整数。

  公开号：

  CN111825709A
• 作为产物：
  描述：

  三乙氧基硅烷 、 烯丙基甲基碳酸酯 在 dihydrogen hexachloroplatinate 作用下， 生成 methyl (3-triethoxysilyl)propyl carbonate
  参考文献：
  名称：

  Sheludyakov,V.D. et al., Journal of general chemistry of the USSR, 1973, vol. 43, p. 311 - 316

  摘要：

  DOI：

文献信息

• COMPOSITION FOR ETCHING, METHOD FOR ETCHING INSULATOR AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND NOVEL COMPOUNDS
  申请人：SK Innovation Co., Ltd.

  公开号：US20200377793A1

  公开（公告）日：2020-12-03

  An etching composition contains phosphoric acid, phosphoric anhydride, a compound represented by the following Formula 1, and a silane compound comprising at least one silicon (Si) atom, excluding the compound represented by Formula 1: wherein, in Formula 1, A is an n-valent radical, where n is an integer of 1 to 6, L is a direct bond or hydrocarbylene, Y is selected from NR 1 , O, PR 2 and S, where R 1 to R 2 are independently hydrogen, halogen, a substituted or unsubstituted hydrocarbyl group, or non-hydrocarbyl group, X and Z are independently selected from N, O, P and S, and R a to R c are independently an unshared electron pair, hydrogen, or a substituted or unsubstituted hydrocarbyl group.

  一种蚀刻组合物包含磷酸，磷酸无水物，由以下公式1所代表的化合物，以及包含至少一个硅（Si）原子的硅烷化合物，不包括由公式1所代表的化合物： 公式1中，A是n价基团，n为1到6的整数，L是直接键或烃基亚烷基，Y从NR1，O，PR2和S中选择，其中R1到R2独立地是氢，卤素，取代或未取代的烃基团，或非烃基团，X和Z独立地从N，O，P和S中选择，R1到R2独立地是未共享的电子对，氢，或取代或未取代的烃基团。