由于
AsH3 的极端毒性,非常需要更安全的 III-V 外延替代品。此外,在
金属有机分子束外延 (MOMBE) 生长过程中通常使用的温度和压力条件下, 分子太稳定,无法在晶片表面分解。这需要使用高温裂解槽在进入生长室之前将 分解为元素
砷,结果导致生长室内出现大量
砷堆积。在这封信中,我们首次报道了使用新型 As 前体三
二甲氨基砷 (
DMAAs) 在低温 (≤525 °C) 下生长的 MOMBE,而无需预裂。对于 GaAs 和 AlGaAs,在 375-525 °C 的广泛生长温度范围内获得了镜面表面形态。