十七氟癸基三甲氧基硅烷的水解速度比乙氧基的氟硅烷更快,效率更高。在水解后会释放低分子醇,由此产生的活泼性硅醇能够与许多无机和有机基材中的羟基、羧基以及含氧基团产生化学键合,在无机物表面形成自组装的单分子氟硅膜层。处理后的基材具有极低的表面能和极差的湿润性,表现出优异的憎水、憎油及防污性能。