3-(tetrahydropyranyloxycarbonyl)-1-vinyl-2-caprolactam

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机杂环化合物 - 哌啶类
• 英文名称: 3-(tetrahydropyranyloxycarbonyl)-1-vinyl-2-caprolactam
• 英文别名: Oxan-2-yl 6-oxo-2-prop-2-enylpiperidine-3-carboxylate
• 化学式: C₁₄H₂₁NO₄
• 分子量: 267.325
• InChiKey: RTUMKMUDFSCPAN-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  1.5
• 重原子数：
  19
• 可旋转键数：
  5
• 环数：
  2.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.71
• 拓扑面积：
  64.6
• 氢给体数：
  1
• 氢受体数：
  4

反应信息

• 作为产物：
  描述：

  N-乙烯基己内酰胺 生成 3-(tetrahydropyranyloxycarbonyl)-1-vinyl-2-caprolactam 、 3-(Tetrahydropyranyloxycarbonyl)-l-vinyl-2-caprolactam
  参考文献：
  名称：

  N-vinyllactam derivatives and polymer thereof

  摘要：

  提供并代表以下公式（I）中3位保护的N-乙烯基内酰胺衍生物。这些被聚合成同聚物和共聚物，用于半导体制造的微光刻。这些聚合物用作适合深紫外工艺的光致抗蚀剂材料，因此可以获得高灵敏度和高分辨率的图像。此外，通过使用发明的光致抗蚀剂，可以形成超细电路，并且可以在图案形成方面实现非凡的改进。

  公开号：

  US05750680A1

文献信息

• US5750680A
  申请人：——

  公开号：US5750680A

  公开（公告）日：1998-05-12
• US5955606A
  申请人：——

  公开号：US5955606A

  公开（公告）日：1999-09-21
• US6051678A
  申请人：——

  公开号：US6051678A

  公开（公告）日：2000-04-18
• US6262222B1
  申请人：——

  公开号：US6262222B1

  公开（公告）日：2001-07-17
• N-vinyllactam derivatives and polymer thereof
  申请人：Hyundai Electronics Industries Co., Ltd.

  公开号：US05750680A1

  公开（公告）日：1998-05-12

  N-vinyllactam derivatives protected at the 3-position are provided and represented by the following formula (I). These are polymerized into homo- and copolymers for use in microlithography of semiconductor manufacture. The polymers are used as a photoresist material suitable for a deep UV process so that pictures of high sensitivity and high resolution can be obtained. In addition, ultrafine circuits can be formed and an exceptional improvement in pattern formation can be accomplished through the use of the photoresist of the invention. ##STR1##

  提供并代表以下公式（I）中3位保护的N-乙烯基内酰胺衍生物。这些被聚合成同聚物和共聚物，用于半导体制造的微光刻。这些聚合物用作适合深紫外工艺的光致抗蚀剂材料，因此可以获得高灵敏度和高分辨率的图像。此外，通过使用发明的光致抗蚀剂，可以形成超细电路，并且可以在图案形成方面实现非凡的改进。