六氟化钨 | 7783-82-6

• 物质功能分类: 无机化工 - 无机盐 - 金属卤化物及卤酸盐
• 分子结构分类: 无机化合物 - 混合金属/非金属化合物 - 过渡金属盐
• 中文名称: 六氟化钨
• 中文别名: 氟化钨
• 英文名称: tungsten hexafluoride
• 英文别名: hexafluorotungsten
• CAS: 7783-82-6
• 化学式: F₆W
• 分子量: 297.84
• InChiKey: NXHILIPIEUBEPD-UHFFFAOYSA-H

物化性质

• 熔点：
  2.3 °C(lit.)
• 沸点：
  17.5 °C(lit.)
• 密度：
  d15liq 3.441
• 溶解度：
  与H2O反应；极易溶于四氯化碳、环己烷
• 物理描述：
  Tungsten hexafluoride appears as a toxic corrosive light yellow liquid or gas. Noncombustible. Used in the manufacture of other chemicals and in the manufacture of electronics.
• 颜色/状态：
  Yellow liquid or colorless gas
• 腐蚀性：
  Corrosive liquid
• 汽化热：
  26.5 kJ/mol at 17.1 °C
• 稳定性/保质期：

  避免潮湿空气、水以及活性金属粉末。

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  2.52
• 重原子数：
  7
• 可旋转键数：
  0
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.0
• 拓扑面积：
  0
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  6

ADMET

毒理性

• 副作用

Dermatotoxin - 皮肤烧伤。

Dermatotoxin - Skin burns.

来源:Haz-Map, Information on Hazardous Chemicals and Occupational Diseases

毒理性

• 毒性数据

大鼠LC50 = 1,430毫克/立方米

LC50 (rat) = 1,430 mg/m3

来源:Haz-Map, Information on Hazardous Chemicals and Occupational Diseases

毒理性

• 解毒与急救

立即急救：确保已经进行了充分的中毒物清洗。如果患者停止呼吸，开始人工呼吸，最好使用需求阀复苏器、袋阀面罩装置或口袋面罩，按训练操作。根据需要执行心肺复苏。立即用缓慢流动的水冲洗受污染的眼睛。不要催吐。如果患者呕吐，让患者向前倾或置于左侧卧位（如果可能的话，头部向下）以保持呼吸道畅通，防止误吸。保持患者安静，维持正常体温。寻求医疗帮助。/氟及其相关化合物/

Immediate first aid: Ensure that adequate decontamination has been carried out. If patient is not breathing, start artificial respiration, preferably with a demand-valve resuscitator, bag-valve-mask device, or pocket mask, as trained. Perform CPR as necessary. Immediately flush contaminated eyes with gently flowing water. Do not induce vomiting. If vomiting occurs, lean patient forward or place on left side (head-down position, if possible) to maintain an open airway and prevent aspiration. Keep patient quiet and maintain normal body temperature. Obtain medical attention. /Fluorine and related compounds/

来源:Hazardous Substances Data Bank (HSDB)

毒理性

• 解毒与急救

基本治疗：建立专利气道（如需要，使用口咽或鼻咽气道）。如有必要，进行吸痰。观察呼吸不足的迹象，如有必要，协助通气。通过非重复呼吸面罩以10至15升/分钟的速度给予氧气。监测肺水肿，如有必要，进行治疗……。监测休克，如有必要，进行治疗……。预见并治疗癫痫发作……。对于眼睛污染，立即用水冲洗眼睛。在转运过程中，用0.9%的生理盐水（NS）持续冲洗每只眼睛……。不要使用催吐剂。对于摄入，如果患者能够吞咽、有强烈的呕吐反射且不流口水，则用水冲洗口腔，并给予5毫升/千克，最多200毫升的水进行稀释……。在去污染后，用干燥的无菌敷料覆盖皮肤烧伤……。/氟及其相关化合物/

Basic treatment: Establish a patent airway (oropharyngeal or nasopharyngeal airway, if needed). Suction if necessary. Watch for signs of respiratory insufficiency and assist ventilations if necessary. Administer oxygen by nonrebreather mask at 10 to 15 L/min. Monitor for pulmonary edema and treat if necessary ... . Monitor for shock and treat if necessary ... . Anticipate seizures adn treat if necessary ... . For eye contamination, flush eyes immediately with water. Irrigate each eye continuously with 0.9% saline (NS) during transport ... . Do not use emetics. For ingestion, rinse mouth and administer 5 ml/kg up to 200 ml of water for dilution if the patent can swallow, has a strong gag reflex, and does not drool. ... . Cover skin burns with dry sterile dressings after decontamination ... . /Fluorine and related compounds/

来源:Hazardous Substances Data Bank (HSDB)

毒理性

• 解毒与急救

高级治疗：对于昏迷、严重肺水肿或严重呼吸困难的病人，考虑进行口咽或鼻咽气管插管以控制气道。使用气囊面罩装置的正压通气技术可能有益。考虑对肺水肿进行药物治疗...。监测心率和必要时治疗心律失常...。开始静脉输注D5W/SRP：“保持开放”，最小流量/。如果出现低血容量的迹象，使用0.9%盐水（NS）或乳酸林格氏液（LR）。对于伴有低血容量迹象的低血压，谨慎给予液体。如果病人在正常液体量时仍出现低血压，考虑使用血管加压药。注意液体过载的迹象...。用地西泮或劳拉西泮治疗癫痫...。使用丙美卡因氢氯化物协助眼部冲洗...。/氟及其相关化合物/

Advanced treatment: Consider orotracheal or nasotracheal intubation for airway control in the patient who is unconscious, has severe pulmonary edema, or is in severe respiratory distress. Positive-pressure ventilation techniques with a bag valve mask device may be beneficial. Consider drug therapy for pulmonary edema ... . Monitor cardiac rhythm and treat arrhythmias if necessary ... . Start IV administration of D5W /SRP: "To keep open", minimal flow rate/. Use 0.9% saline (NS) or lactated Ringer's (LR) if signs of hypovolemia are present. For hypotension with signs of hypovolemia, administer fluid cautiously. Consider vasopressors if patient is hypotensive with a normal fluid volume. Watch for signs of fluid overload ... . Treat seizures with diazepam or lorazepam ... . Use proparacaine hydrochloride to assist eye irrigation ... . /Fluorine and related compounds/

来源:Hazardous Substances Data Bank (HSDB)

安全信息

• 危险等级：
  2.3
• 危险品标志：
  T,C
• 安全说明：
  S26,S36/37/39,S45
• 危险类别码：
  R23/24/25,R34
• WGK Germany：
  3
• 危险品运输编号：
  UN 2196 2.3
• RTECS号：
  YO7720000
• 包装等级：
  O52
• 危险类别：
  2.3
• 储存条件：
  请将药品存放在密闭、阴凉且干燥的地方，并确保周围空气流通良好。

SDS

第一部分：化学品名称

化学品中文名称：	六氟化钨
化学品英文名称：	Tungsten hexafluoride；Tungstenfluoride
中文俗名或商品名：
Synonyms：
CAS No.：	7783-82-6
分子式：	WF 6
分子量：	297.8

第二部分：成分/组成信息

纯化学品 混合物

化学品名称：六氟化钨

有害物成分 含量 CAS No. 六氟化钨 100

第三部分：危险性概述

危险性类别：	第2．3类 有毒气体
侵入途径：	吸入 食入
健康危害：	遇潮湿、空气或水分解，散发出剧毒和有腐蚀性的氟化氢烟雾。本品对眼睛、皮肤和粘膜能引起非常严重的烧伤。
环境危害：
燃爆危险：	本品不燃，有毒，具强腐蚀性、强刺激性，可致人体灼伤。

第四部分：急救措施

皮肤接触：	脱去污染的衣着，用流动清水冲洗。在灼伤处涂敷氧化镁甘油软膏或稀氨水。就医。
眼睛接触：	立即翻开上下眼睑，立即用大量流动清水彻底冲洗至少15分钟。立即就医。
吸入：	脱离现场至空气新鲜处。呼吸困难时给输氧。呼吸停止时，立即进行人工呼吸。立即就医。
食入：	误服者用水漱口，饮牛奶或蛋清，立即就医。

第五部分：消防措施

危险特性：	能与许多物质发生化学反应。遇潮气、空气或水解, 放出剧毒的腐蚀性氟化氢气体。腐蚀性很强, 能侵蚀几乎所有的金属, 能迅速腐蚀湿的玻璃。
有害燃烧产物：	氟化氢。
灭火方法及灭火剂：	泡沫、二氧化碳、干粉。
消防员的个体防护：	消防人员必须佩戴过滤式防毒面具(全面罩)或隔离式呼吸器、穿全身防火防毒服，在上风向灭火。
禁止使用的灭火剂：	禁止用水、泡沫和酸碱灭火剂灭火。
闪点(℃)：	无意义
自燃温度(℃)：	无意义
爆炸下限[%(V/V)]：	无意义
爆炸上限[%(V/V)]：	无意义
最小点火能(mJ)：
爆燃点：
爆速：
最大燃爆压力(MPa)：
建规火险分级：

第六部分：泄漏应急处理

应急处理：

疏散泄漏污染区人员至安全区，禁止无关人员进入污染区，应急处理人员戴正压自给式呼吸器，穿厂商特别推荐的化学防护服(完全隔离)。在确保安全情况下堵漏。喷水雾减慢挥发(或扩散)，但不要对泄漏物或泄漏点直接喷水。勿使水进入包装容器内，抽排(室内)或强力通风(室外)。漏气容器不能再用，且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。

第七部分：操作处置与储存

操作注意事项：	密闭操作，提供充分的局部排风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩），穿密闭型防毒服，戴橡胶手套。防止气体或蒸气泄漏到工作场所空气中。避免与活性金属粉末接触。尤其要注意避免与水接触。搬运时戴好钢瓶安全帽和防震橡皮圈，防止钢瓶碰撞、损坏。配备泄漏应急处理设备。
储存注意事项：	储存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。保持容器密封。应与活性金属粉末等分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

第八部分：接触控制/个体防护

最高容许浓度：	中 国 MAC：未制订标准前苏联MAC：未制订标准美国TLV—TWA：未制订标准美国
监测方法：
工程控制：	严加密闭，提供充分的局部排风。
呼吸系统防护：	可能接触毒物时，必须佩戴防毒面具。
眼睛防护：	戴安全防护眼镜。
身体防护：	穿胶布防毒服。
手防护：	戴防化学品手套。
其他防护：	工作后，淋浴更衣。定期体检。

第九部分：理化特性

外观与性状：	无色气体或浅黄色液体，固体为易潮解的白色结晶，在潮湿空气中冒烟。
pH：
熔点(℃)：	2．3
沸点(℃)：	17．5
相对密度(水=1)：	3．44(15℃)
相对蒸气密度(空气=1)：
饱和蒸气压(kPa)：
燃烧热(kJ/mol)：
临界温度(℃)：	171
临界压力(MPa)：	0.45
辛醇/水分配系数的对数值：
闪点(℃)：	无意义
引燃温度(℃)：	无意义
爆炸上限%(V/V)：	无意义
爆炸下限%(V/V)：	无意义
分子式：	WF 6
分子量：	297.8
蒸发速率：
粘性：
溶解性：	溶于多数有机溶剂。
主要用途：	用于钨的化学蒸镀，用作氟化剂。

第十部分：稳定性和反应活性

稳定性：	在常温常压下 稳定
禁配物：	空气、水、活性金属粉末。
避免接触的条件：	接触潮湿空气。
聚合危害：	不能出现
分解产物：	氟化氢。

第十一部分：毒理学资料

急性毒性：	具剧烈刺激性
急性中毒：
慢性中毒：
亚急性和慢性毒性：
刺激性：
致敏性：
致突变性：
致畸性：
致癌性：

第十二部分：生态学资料

生态毒理毒性：
生物降解性：
非生物降解性：
生物富集或生物积累性：

第十三部分：废弃处置

废弃物性质：
废弃处置方法：	根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。
废弃注意事项：

第十四部分：运输信息

危险货物编号：	23025
UN编号：	2196
包装标志：
包装类别：	Ⅱ
包装方法：	钢质气瓶。
运输注意事项：	铁路运输时应严格按照铁道部《危险货物运输规则》中的危险货物配装表进行配装。采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。严禁与活性金属粉末、食用化学品等混装混运。夏季应早晚运输，防止日光曝晒。公路运输时要按规定路线行驶，禁止在居民区和人口稠密区停留。铁路运输时要禁止溜放。
RETCS号：
IMDG规则页码：

第十五部分：法规信息

国内化学品安全管理法规：	化学危险物品安全管理条例 (1987年2月17日国务院发布)，化学危险物品安全管理条例实施细则 (化劳发[1992] 677号)，工作场所安全使用化学品规定 ([1996]劳部发423号)等法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；常用危险化学品的分类及标志 (GB 13690-92)将该物质划为第2.3 类有毒气体；剧毒物品分级、分类与品名编号(GA 57-93)中，该物质的液化或压缩品被划为第一类 A级无机剧毒品；车间空气中氟化物卫生标准 (GB 16228-1996)，规定了车间空气中该物质的最高容许浓度及检测方法。
国际化学品安全管理法规：

第十六部分：其他信息

参考文献：	1.周国泰，化学危险品安全技术全书，化学工业出版社，1997 2.国家环保局有毒化学品管理办公室、北京化工研究院合编，化学品毒性法规环境数据手册，中国环境科学出版社.1992 3.Canadian Centre for Occupational Health and Safety,CHEMINFO Database.1998 4.Canadian Centre for Occupational Health and Safety, RTECS Database, 1989
填表时间：	年月日
填表部门：
数据审核单位：
修改说明：
其他信息：	3
MSDS修改日期：	年月日

制备方法与用途

理化性质

化学式为WF6，分子量297.84。无色气体或淡黄色液体，具有强烈的刺激性，并有毒性，毒性类似于氟。低温下可呈白色固体状态，能溶于有机溶剂并产生特殊的颜色。遇水会分解。在潮湿空气中会被潮气分解而强烈冒烟，生成黄钨酸或三氧化钨。化学性质活泼，几乎与所有金属（除金和铂）反应，对镍、蒙乃尔合金和不锈钢有腐蚀性，但Ni和不锈钢可抵抗其腐蚀。干燥状态下对玻璃的腐蚀性较弱，在潮湿环境中则能迅速反应。与气态氨强烈反应，并能被氨水或碱吸收。与碱金属氟化物生成复盐。溶于苯等多种有机溶剂。

• 密度：3.44×10³ kg/m³（15℃，液体）
• 熔点：2.5℃（5.6×10⁴帕）
• 沸点：17.5℃
• 临界温度：171℃
• 临界压力：445.8 kPa

制备方法：由金属钨粉与元素氟直接反应合成。

主要用途

• 作为强氟化剂，用于气相沉积法制钨膜。
• 在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钨或钨，以制作低电阻、高熔点的互连线。主要用于集成电路的配线材料，在经过化学气相沉积工艺后形成金属钨导体膜。

六氟化钨结构图

图1展示六氟化钨分子结构式。

主要用途

六氟化钨（WF6）是唯一能稳定存在的钨的氟化物，具有极强的腐蚀性。在电子工业中，主要作为集成电路的配线材料使用。其通过化学气相沉积工艺形成金属钨导体膜，通常用作高传导性的互连金属、金属层间的通孔和垂直接触的接触孔以及铝和硅间的隔离层，广泛应用于半导体集成领域。此外，六氟化钨还应用于太阳能吸收器、X射线发射电极制造及导电浆糊等电子元器件原材料。

危险特性

遇潮湿空气或水会分解，产生剧毒且具有腐蚀性的氟化氢烟雾。对皮肤、眼睛和粘膜造成严重灼伤。高浓度暴露会引起恶心、呕吐、腹痛、抽搐、肾损伤。信息由Chemicalbook晓楠编辑（2015-09-05）。

贮运须知

储存于阴凉通风的库房内，避免日光直射，远离热源和火源，防止受潮，并与金属及玻璃制品隔离贮运。需贴“毒气”标志。航空、铁路禁止运输。若周围其他可燃物着火时，可用干粉或二氧化碳灭火器扑灭，用水冷却钢瓶并迅速关闭阀门。

急救措施

眼睛刺激可导致失明，须用大量清水冲洗，并立即就医治疗。皮肤和粘膜受腐蚀后难以恢复，需用水冲洗，涂抹氧化镁甘油软膏或稀氨水，并就医诊治。

分类

• 压缩气体和液化气体
• 可燃性危险特性：遇水分解产生有毒氟化氢气体和钨酸
• 储运特性：库房通风、低温干燥
• 灭火剂：水
• 职业标准：TLV-TWA 5 毫克(钨)/立方米；STEL 10 毫克(钨)/立方米

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  六氟化钨 生成 三氧化钨
  参考文献：
  名称：

  SVENSSON, J. S. E. M.;BENSON, D. K.;TRACY, C. E., PROC. SOC. PHOTO-OPT. INSTRUM. ENG., 1016,(1988) C. 19-27

  摘要：

  DOI：
• 作为产物：
  描述：

  三氧化钨 生成 六氟化钨
  参考文献：
  名称：

  XARADA, ISAO;JODA, YUKIXIRO;IVANAGA, TOKUYUKI

  摘要：

  DOI：

文献信息

• XARADA, ISAO;NISITSUDZI, TOSIXIKO;JOSIKAVA, AKIO
  作者：XARADA, ISAO、NISITSUDZI, TOSIXIKO、JOSIKAVA, AKIO

  DOI：——

  日期：——
• HARADA, ISAO;YODA, YUKIHIRO;IWANAGA, NARUYUKI;NISHITSUJI, TOSHIHIKO;KIKKA+
  作者：HARADA, ISAO、YODA, YUKIHIRO、IWANAGA, NARUYUKI、NISHITSUJI, TOSHIHIKO、KIKKA+

  DOI：——

  日期：——
• BARDIN, V. V.;FURIN, G. G.;YAKOBSON, G. G., ZH. ORGAN. XIMII, 1982, 18, N 3, 604-609
  作者：BARDIN, V. V.、FURIN, G. G.、YAKOBSON, G. G.

  DOI：——

  日期：——
• HAAS, A.;MACIEJ, TH., J. FLUOR. CHEM., 1982, 20, N 5, 581-587
  作者：HAAS, A.、MACIEJ, TH.

  DOI：——

  日期：——
• WATANABE, MORIO;NISHIMURA, SANJI
  作者：WATANABE, MORIO、NISHIMURA, SANJI

  DOI：——

  日期：——

表征谱图