[EN] ORGANOAMINO-POLYSILOXANES FOR DEPOSITION OF SILICON-CONTAINING FILMS<br/>[FR] ORGANOAMINO-POLYSILOXANES POUR LE DÉPÔT DE FILMS CONTENANT DU SILICIUM
申请人:VERSUM MAT US LLC
公开号:WO2018148201A8
公开(公告)日:2019-08-01
SEYFERTH, D.;PRUDHOMME, CH. C.;WANG, WEI-LIANG, J. ORGANOMET. CHEM., 1984, 277, N 2, 203-209