生产方法
硅直接氮化法:将含硅原料与含碳原料混合后,在50%氯气和氮气气氛中于1300~1600℃下反应。再在空气中于600~800℃下燃烧去除多余的碳,获得高纯度的氮化硅晶须。另外,也可以将卤化硅与氨在含有氢气的氮气气氛中,于1300~1400℃下进行热分解,从而得到氮化硅晶须。
采用前驱体聚合法:1987年美国DOW Corning公司通过三氯氢硅和六甲基二硅氮烷合成含氢聚氮硅烷的前驱体。经过纺丝处理,并利用三氯硅甲烷不溶化原理进行纺丝及热定型,最后在1200℃的惰性气氛中烧制即可得到高纯α晶型为主的氮化硅纤维。
金属硅氮化法:
二氧化硅碳热还原法:将高纯度二氧化硅及其他含硅原料与以过渡金属或其他化合物为催化剂的含碳原料混合后,在50%氢气和氮气气氛中于1300~1600℃下加热反应。之后在空气中于600~800℃下燃烧去除多余的碳,获得高纯度的氮化硅晶须。
卤化硅的气相氨分解法:卤化硅与氨在含有氢气的氮气气氛中,在1300~1600℃下进行热分解,得到氮化硅晶须。
以硅藻土为原料的方法:先将原料于1000~1200℃下烧结。然后放入碳质容器中,在焙烧炉中于1000~1450℃的氮-氨气氛中加热24小时,使外壁长出直径0.1~2μm、长度大于10mm的晶须。
中文名称 | 英文名称 | CAS号 | 化学式 | 分子量 |
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—— | silicon nitrogen hydride | 53826-03-2 | HNSi | 43.1001 |