申请人:EG Chem (주)이지켐(120150515871) Corp. No ▼ 134811-0249905BRN ▼135-86-25179
公开号:KR20200127346A
公开(公告)日:2020-11-11
하기 화학식 1로 정의되는 실리콘 전구체 화합물이 제공된다. [화학식 1] 상기 화학식 1에서 R 및 R는 각각 독립적으로 수소, C-C 알킬기 또는 C-C 알킬실릴기이고, R 및 R는 각각 독립적으로 수소, C-C 알킬기, 할로겐기, 다이알킬아민기(-NRR) 또는 알킬아민기(-NHR)이며, R 내지 R은 각각 독립적으로 C-C 알킬기이다.
提供了一个被定义为化学式1的硅前体化合物。[化学式1] 在上述化学式1中,R和R分别独立地表示氢、C-C烷基或C-C烷基硅基,R和R分别独立地表示氢、C-C烷基、卤素基、二烷胺基(-NRR)或烷胺基(-NHR),R到R分别独立地表示C-C烷基。