研究了通过热
化学气相沉积合成的掺
铒非晶碳氧化
硅 (a-SiCxOy:Er) 薄膜中的光致发光 (PL),其碳和氧浓度范围为 0-1.63。在 1540 nm 处观察到强烈的室温 PL,PL 强度取决于碳和氧的含量。当在 496.5 nm 泵浦时,检测到 a-SiC0.53O0.99:Er 的最强 PL 强度,与 a-SiO2:Er 相比强度增强了约 20 倍。对于 a-SiC0.53O0.99:Er,在可见光中观察到宽带激发。傅里叶变换红外光谱和 X 射线光电子能谱分析表明,Si-C-O 网络的形成在增强 a-SiCxOy:Er 薄膜中的 Er 光学活性方面起着重要作用。